Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293619549 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 293619549
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Etcher, 6" 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist ein Ätzer oder Ascher, der Mikrowellen-Plasma verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Technologie verwendet, um Filme verschiedener Oxide und Nitride auf Silizium und anderen Substraten abzuscheiden. AMAT 8330 bietet eine einzigartige Kombination aus Fähigkeit, Prozessgleichmäßigkeit und Flexibilität, um Folien zu jeder erreichbaren Dicke zu bilden - von Zehnteln eines Angströms bis zu mehreren hundert Nanometern - und ermöglicht so den Einsatz für eine breite Palette von Geräten und Schaltungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8330 ist für hohe Präzision, kontrollierte Abscheidung von Oxiden, Nitriden und anderen dünnen Filmen ausgelegt. Es hat eine hochproduktive, ionengestützte Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Quelle. ECR-Quellen bieten verbesserte Leistungsdichten und einheitliche Abscheideraten, sodass 8330 mehrere Filmabscheidungen gleichzeitig unterstützen können. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist mit zwei Energiespulen (Multi-Source ECR-Technologie) ausgestattet, die bis zu 3,2 kW Leistung an jedes Substrat gleichzeitig liefern können, was den Durchsatz drastisch erhöht. AMAT 8330 beinhaltet eine variable Ablagerungskonfiguration mit variablem Druck, die es Anwendern ermöglicht, die Substratoberfläche vor der Beschichtung dünner Filme zu formen. Dieses Gerät bietet auch eine optimierte Steuerung des Ätz- und Abscheideprozesses für optimale Filmabscheidung, Gleichmäßigkeit und Geschwindigkeit. Seine Kammer hat reduzierte wandreaktive Spezies und Kammerteilchenabscheidung, die Prozeßwiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit weiter erhöht. In Bezug auf das Umweltmanagement wurde APPLIED MATERIALS 8330 entwickelt, um eine Vielzahl von Umweltstandards zu erfüllen, einschließlich RoHS, REACH und SASO. Dieses Gerät wurde entwickelt, um bei Temperaturen von 25 bis 350 Grad Celsius zu arbeiten und bietet eine überlegene Temperaturregelung für die Abscheidung von dünnen Filmen und die Gleichmäßigkeit zu erhalten. Darüber hinaus ist 8330 mit einer Reihe von zusätzlichen Funktionen integriert, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozessrezepte zu speichern und die Prozessflexibilität zu erhöhen. Dieses System ist auch mit einer Vielzahl von CAD-Systemen (Computer Aided Design) und CAE-Systemen (Computer Aided Engineering) kompatibel, einschließlich AutoCAD und P&E, wodurch Benutzer auf die Prozessrezepte zugreifen und diese entwerfen können. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ein Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungssystem, das überlegene Dünnschichtabscheidungsfähigkeit, Gleichmäßigkeit und Kontrolle bietet. Seine kontrollierte Umgebung und leistungsstarke ECR-Quelle bieten eine verbesserte Prozesssteuerung, während seine Multi-Source-Funktionen mehrere Filmablagerungen gleichzeitig ermöglichen. AMAT 8330 ist auch mit einer Vielzahl von Funktionen integriert, um Umweltverträglichkeit und Benutzerfreundlichkeit zu gewährleisten.
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