Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293652763 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 293652763
Wafergröße: 6"
Etchers, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 (AMAT 8330) ist eine Ätz-/Aschermaschine, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, Dünnschichttransistoren und anderen Technologien verwendet wird. Es ist ein plattformunabhängiges System, das modifiziert werden kann, um mit einer Vielzahl von filmverarbeitenden Chemien wie Silizium, Wolfram und Aluminium zu arbeiten. APPLIED MATERIALS 8330 ist ein fortschrittliches Modell mit einer großen Kammer zum Ätzen/Aschen von Substraten bis zu einem Durchmesser von 375mm. Es verwendet eine Hochdruck-Trockenätztechnologie, mit der Benutzer eine hohe Auflösung und ein Seitenverhältnis bei minimaler Beschädigung der empfindlichen Substrate erzielen können. Es verfügt über eine optische Maschine auf Xenon-Lampenbasis, die einen hervorragenden Kontrast zwischen Film und Substrat ermöglicht. 8330 bietet dank seiner schnellen thermischen Zykluszeiten, einer hochdruckreaktiven Ionenätztechnik für hohe Ätzrate und Präzision und einer großen Kammergröße für größere Substrate eine hervorragende Prozessleistung. Es bietet eine kleine Kammerkonstruktion für eine zuverlässige, fehlerarme Verarbeitung und eine einstellbare Temperaturregelung zur präzisen Steuerung der Ätzparameter. Das Werkzeug bietet zudem eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit, so dass der Anwender gleichmäßige Seitenverhältnisse und Oberflächengüte über die gesamte Waferoberfläche erzielen kann. Weitere Merkmale von AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 sind eine Plasmaquelle mit variabler Frequenz für mehr Ätzselektivität und ein computerbasiertes Steuerungsmodell zur Vereinfachung der Bedienung sowie Ethernet-Funktionen für die Fernüberwachung und -steuerung von Maschinen. Es verfügt auch über ein eingebautes Heizelement für Vorverarbeitungsvorgänge, eine Salzsäurefiltervorrichtung für die Müllabfuhr und eine Kühlfalle für eine effiziente Vakuumfiltration. Das System ist für maximale Vielseitigkeit ausgelegt und auf einfache Wartung und Wartungsfreundlichkeit ausgelegt. Insgesamt ist AMAT 8330 eine fortschrittliche Ätz-/Ascherplattform, die anspruchsvolle Ätzergebnisse auf einer Vielzahl von Substraten liefert. Seine Eigenschaften machen es ideal für die Herstellung von integrierten Schaltungen, Dünnschichttransistoren und anderen Technologien. Es wurde entwickelt, um zuverlässige, gleichmäßige Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig Schäden an empfindlichen Substraten zu minimieren. Mit seinen fortschrittlichen computerbasierten Steuerungs- und Ethernet-Funktionen ist es eine ideale Einheit für viele verschiedene Anwendungen.
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