Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293762395 zu verkaufen
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ID: 293762395
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2005
Etcher, 6"
Non-functional
Materials: Al, Mo, Ta, Ti, and indium tin oxide
Bell jar dome included
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist ein hochentwickelter und anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterindustrie zur präzisen Verarbeitung von Siliziumscheiben eingesetzt wird. Dieses Tool wurde entwickelt, um Wafer auf nanoskaliger Ebene zu ätzen und zu reinigen, um hohe Genauigkeit und Konsistenz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erreichen. AMAT 8330 ist mit modernster Technologie und Funktionen ausgestattet, die es zu einem vielseitigen und zuverlässigen Werkzeug für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen machen. Es ist bekannt für seinen hohen Durchsatz, seine ausgezeichnete Prozessgleichmäßigkeit und eine überlegene Kontrolle über Parameter wie Ätzrate, Selektivität und Profilsteuerung. Eine der Schlüsselkomponenten von APPLIED MATERIALS 8330 ist die Prozesskammer, die eine kontrollierte Umgebung für Ätz- und Ascheprozesse bietet. Die Kammer besteht aus hochwertigen Materialien, die gegen korrosive Chemikalien und hohe Temperaturen beständig sind und eine zuverlässige Leistung und Langlebigkeit gewährleisten. Die Kammer ist mit fortschrittlichen Heiz- und Kühlsystemen ausgestattet, um eine konsistente Temperatur während der Verarbeitung sowie Gaszufuhrsysteme zur präzisen Steuerung von Prozessgasen aufrechtzuerhalten. 8330 verfügt über eine ausgeklügelte Plasmaerzeugungsanlage, die für die Ätz- und Ascheprozesse unerlässlich ist. Das Plasma wird durch Aufbringen von Hochfrequenz (RF) -Leistung auf ein Gasgemisch innerhalb der Kammer erzeugt, was zur Bildung von reaktiven Ionen und Radikalen führt, die mit der Waferoberfläche interagieren, um Material selektiv zu entfernen. Die HF-Leistung kann eingestellt werden, um die Dichte und Energie des Plasmas zu steuern, was eine präzise Abstimmung der Ätzrate und Selektivität ermöglicht. Das Werkzeug ist zudem mit einem umfassenden Gasfördersystem ausgestattet, das eine präzise Steuerung von Prozessgasen wie Ätzmitteln auf Fluorbasis und Aschgasen auf Sauerstoffbasis ermöglicht. Die Gasfördereinheit sorgt für eine gleichmäßige und gleichmäßige Verteilung der Gase über die Waferoberfläche, was zu einer hohen Prozessgleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit führt. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 wird über eine fortschrittliche Steuerungsmaschine betrieben, die eine Echtzeit-Überwachung und Anpassung von Prozessparametern ermöglicht. Das Tool verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, mit der Bediener Prozessrezepte schnell und einfach einrichten und optimieren können. Prozessdaten können protokolliert und analysiert werden, um Prozessstabilität und Qualitätskontrolle sicherzustellen. Zusammenfassend ist AMAT 8330 ein modernes Ätz-/Ascherwerkzeug, das hohe Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. Seine fortschrittliche Technologie, Präzisionskontrollsysteme und sein robustes Design machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Erzielung hochwertiger und ertragreicher Halbleiterbauelemente.
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