Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293766202 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Ätzer ist eine einzigartige Halbleiterätzausrüstung, die für fortgeschrittene Forschung auf den Gebieten der Halbleiter- und fortschrittlichen Materialentwicklung entwickelt wurde. Dieses hochentwickelte Ätzsystem bietet hohen Durchsatz, Flexibilität und Produktionskalierbarkeit für die anspruchsvollsten Forschungs- und Entwicklungsanforderungen. AMAT 8330 Ätzer beinhaltet die einzigartige Fähigkeit, mehrere Wafer gleichzeitig zu inszenieren und bearbeitet diese Wafer sehr schnell. Das Tool ist auch in der Lage, eine Reihe von Rezepten zu unterstützen, um Ätzprozessbedingungen zu optimieren. APPLIED MATERIALS 8330 Ätzer nutzt seine erweiterte Mehrfachwafer-Staging-Fähigkeit, um gleichzeitig bis zu vier Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, mit Verarbeitungszyklen, die weniger als 1 Sekunde pro Wafer im Vergleich zu Standardverarbeitungszeiten von bis zu 10 Minuten dauern. Der Ätzer weist sowohl einen Trockenätzabschnitt als auch einen optionalen Naßätzabschnitt auf, die beide in der Lage sind, einen hohen Durchsatz und präzise Ätzprozesse bereitzustellen. Zusätzlich ist die Prozesskammer mit einem Bypassschlitz zur schnellen Waferübertragung ausgestattet. Die Prozesskammer von 8330 Ätzer wurde speziell entwickelt, um Gleichmäßigkeit und überlegene Prozesskontrolle zu fördern. Es verwendet eine direkt angetriebene Gasdiffusionspumpe zur Druckregelung und eine Wahl einer elektrostatischen und einer chemischen mechanischen Kraft, um einen konstanten Druck aufrechtzuerhalten. Eine baratronische Phasen- und Frequenzsteuerung sorgt zudem für eine genaue und präzise Steuerung von Zeitsteuerung und Druck beim Ätzen. Diese fortschrittliche Ätzmaschine wurde mit einem einfach zu bedienenden Job Modeler entwickelt, um eine präzise Kontrolle über Ätzrezepte zu gewährleisten. Der Job Modeler ermöglicht es Benutzern, ihre benutzerdefinierten Rezepte zu speichern und sie leicht zurückzurufen, was die Notwendigkeit negiert, jedes Mal Zeit mit Schreiben zu verbringen und das Rezept zu optimieren. Darüber hinaus umfasst der Job Modeler mehrere automatisierte Prozessmanagement- und Workflow-Tools, um Benutzeroperatorfehler zu reduzieren. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Ätzer verfügt auch über ein innovatives Vakuumierungswerkzeug für eine einheitliche Substratverarbeitung. Diese Anlage nutzt eine Reihe integrierter Gasströmungssensoren und CFD-Modelle, um die Druckverteilung innerhalb der Prozesskammer zu analysieren, um eine ordnungsgemäße Prozessgleichförmigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht ein Substratmanagementmodell dem Benutzer, ähnliche Film- oder Gerätetypen zu gruppieren und die Parameter entsprechend anzupassen. Schließlich ist AMAT 8330 Ätzer mit einer breiten Palette von Überwachungswerkzeugen ausgestattet. Mit diesen Werkzeugen können Anwender den Druck, den Gasstrom und die Temperatur der Prozesskammer kontinuierlich überwachen und so sicherstellen, dass die Parameter der Waferbearbeitung während des gesamten Ätzens konstant bleiben. Diese Überwachungswerkzeuge sind von unschätzbarem Wert, um mögliche Fehler im Ätzprozess aufzudecken und sicherzustellen, dass die Gerätewafer richtig geätzt werden.