Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9076176 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9076176
Wafergröße: 6"
Metal etchers, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asher ist eine kompakte, kostengünstige und leistungsstarke Maschine zum Ätzen und Aschen mehrerer Schichten in Halbleiteranwendungen. Es handelt sich um ein Zweikammersystem, bestehend aus einer Ätzkammer und einer Aschekammer, wodurch Benutzer Ätz- und Aschevorgänge in einer einzigen Maschine durchführen können. AMAT 8330 wurde entwickelt, um den Durchsatz von Serienproduktionen zu maximieren und kann bis zu 150 Wafer pro Stunde verarbeiten. Der Ätzer/Ascher verwendet fortschrittliche, präzise HF-Plasmatechnologie, um Prozessgase zu ionisieren, um ein volumetrisches HF-Plasma zu erzeugen, das gleichmäßig über die Waferoberfläche verteilt ist. Diese gleichmäßige, konsistente und abstimmbare Prozessgaswellenform ermöglicht präzise Ätzraten und eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit. APPLIED MATERIALS 8330 konsolidiert Ätz- und Aschevorgänge zu einer Maschine, wodurch die Notwendigkeit separater Ätz- und Aschevorrichtungen entfällt und eine Lösung aus einer Hand für die Herstellung von großvolumigen Wafern bereitgestellt wird. 8330 verfügt über erweiterte Programmier-, Prozessüberwachungs- und Systemwartungsfunktionen. Die erweiterte HMI (Human Machine Interface) ermöglicht es Benutzern, Prozessparameter einfach über Touchscreen oder Maus/Tastatur zu konfigurieren, zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus umfasst die Maschine mehrere Modi und Funktionen, mit denen Benutzer Hunderte von Rezepten für anspruchsvolle Produktionsabläufe programmieren, speichern und überwachen können. Die erweiterten Prozessüberwachungsfunktionen bieten eine Echtzeit-Überwachung der Prozessbedingungen, ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle und ermöglicht es Benutzern, problemlos Parameter zu beheben und anzupassen, um die Leistung zu optimieren. Der Etch/Asher verfügt über eine Kapazität von bis zu acht Prozessgasen und eine maximale Druckfähigkeit von 350 mTorr. Das System ist mit einer 6-Zoll-Wafer-Ladelasche ausgestattet, die die Wiederholbarkeit des Prozesses, die Gleichmäßigkeit von Substrat zu Substrat und eine ausgezeichnete Ausbeute gewährleistet. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist für vielseitige, serienreiche Produktionsmöglichkeiten konzipiert und eignet sich ideal für eine Vielzahl von Prozessschritten, einschließlich Trockenätzen, Halbleiterbauelementherstellung, dielektrischer Verarbeitung und Waferbonden. Es ist eine äußerst effiziente Maschine, mit einer kompakten Bauweise, die minimalen Platzbedarf beansprucht, und seine geringen Wartungsanforderungen und benutzerfreundliche Schnittstelle machen es zu einer idealen Wahl für viele Produktionsabläufe.
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