Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9210300 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9210300
Wafergröße: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher. Sie kann präzise Muster in die Oberfläche von Materialien einätzen. Das Ätzen ist ein subtraktiver Prozess, bei dem eine flache Materialschicht entfernt wird, wobei ein gewünschtes Muster auf der darunter liegenden Schicht verbleibt. AMAT 8330 verwendet Plasmaätzen, um das Material in seinem angegebenen Muster zu entfernen. Die in APPLIED MATERIALS 8330 verwendete Plasmaätztechnologie kann Substrate bis 6 „x6“ oder 150 mm verarbeiten und eignet sich somit ideal für Anwendungen, die ein präzises Ätzen von Kleinteilen benötigen. Der Ätzer kann auch mehrere Substrate gleichzeitig handhaben und zum Ätzen von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP) verwendet werden. Das Ätzen kann entweder mit nassen oder trockenen Techniken durchgeführt werden und kann verschiedene Formen und Größen aufweisen. 8330 hat auch die Fähigkeit, fortschrittliche Prozesstechniken wie Sputterätzen, flache Grabenisolierung (STI) und Barriereseitenwandimplantation durchzuführen. Diese Techniken tragen dazu bei, dass die zu ätzenden Materialien ein einheitliches Profil aufweisen. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über eine breite Palette von Ätzraten, von wenigen Mikrometern bis zu vielen Millisekunden. Es hat auch eine breite Palette von Prozessgasen, einschließlich Sauerstoff, Wasserstoff, Helium, Stickstoff und Kohlendioxid, sowie andere inerte Gase. Auch bei der Werkzeugverfügbarkeit ist die Ausrüstung hocheffizient. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 ist entworfen, um mehrere Rezepte in einem einzigen Lauf zu handhaben, und kann leicht geändert werden, um veränderten Prozessanforderungen gerecht zu werden. Darüber hinaus erleichtern die automatisierten Schnittstellen die Integration des Systems in eine Produktionsumgebung und der breite Bereich von Druck, Temperatur, Spannung und Gasfluss ermöglicht die Anpassung an mehrere Anwendungen. Schließlich berücksichtigt die AMAT 8330 auch die Sicherheit, da sie eine redundante Sicherheitsverriegelungseinheit aufweist, die eine versehentliche Aktivierung des Ätzvorgangs verhindert. Diese Maschine enthält einen programmierbaren Zeitgeber, Gas- und Vakuumsensoren und einen Verriegelungsschalter, der vor Beginn eines Prozesses gesperrt werden kann. Dies ermöglicht eine zusätzliche Sicherheitsschicht während des Betriebs der Maschine. Abschließend ist die Ätz-/Aschermaschine APPLIED MATERIALS 8330 ein hochpräzises Werkzeug zum Ätzen und Aschen von Mustern und Formen auf verschiedenen Oberflächenmaterialien. Mit seinen fortschrittlichen Prozesstechniken, mehreren Prozessgasoptionen und Sicherheitsmaßnahmen ist dieser Ätzer eine gute Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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