Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839 zu verkaufen
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ID: 9276839
Wafergröße: 6"
Metal etcher, 6", parts system
Meter reads: 1,542.5 Hours
Make / Model / SCCM / Gases
TYLAN / FC-2900M / 200 sccm / BCL3
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CL2
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CF4
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CHF3
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / HE
TYLAN / FC-260V / 50 sccm / N2
Monitor damaged
Power supply: 208 VAC, 60 Hz.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 8330A/8330 ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung verwendet wird. Es ist eine kostengünstige, hochdurchsatzreiche Ausrüstung, die bei Ätz- und Ascheprozessen eine überlegene Leistung bietet. Das System ist für die gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Anwendungen konzipiert und ermöglicht eine Kapazität von bis zu 8 Wafern mit einem einzigen Betrieb. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Vakuumeinheit ausgestattet, die eine präzise Temperatur- und Prozesskontrolle für alle Ätz- und Ascheprozessaufgaben ermöglicht. Als Ätzmaschine verfügt AMAT 8330A/8330 über zwei Hauptkammern - eine für Metall und eine für Isolationsätzen. Die Metallätzkammer liefert hervorragende anisotrope Ätzergebnisse unter Verwendung von reaktiven Ionenätzfähigkeiten (RIE). Zusätzlich ist durch die eingebauten automatisierten Temperaturregler eine präzise Regelung von Kammerdruck, Temperatur, Gasfluss und HF-Leistung erreichbar. Die Isolationsätzkammer besteht aus einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP), die das Ätzen thermisch stabilisierter Substrate ermöglicht. Automatisierte thermische Regler bieten präzise Temperatur- und Prozesskontrolle über alle Ätzvorgänge. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer erweiterten Klasse-1000 Wafer Handling-Asset ausgestattet, bietet schnelle Wafer Be-, Ent- und Manipulation und zeitsparende Wafer Ausrichtung. Das Modell APPLIED MATERIALS 8330A/8330 verfügt über eine einzige Kammerkonfiguration und ermöglicht schnelle und effiziente Veraschungsprozesse. Die Kammer ist mit einem Quarzboot und einem eingebauten automatisierten Temperaturregler ausgestattet, der eine präzise Temperaturregelung über den Aschvorgang ermöglicht. Dies trägt zu verbesserter Prozessgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Ausbeuten bei. Das Gerät umfasst auch die Prozessfehlerdiagnose, die eine schnelle Fehlerbehebung bei Störungen ermöglicht. Insgesamt ist 8330A/8330 ein leistungsstarkes, durchsatzstarkes Ätz- und Aschesystem. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften bietet das Gerät eine präzise Temperatur- und Prozesskontrolle, um bei allen Ätz- und Aschevorgängen die bestmöglichen Ergebnisse zu erzielen. Es ist eine ideale Lösung für erweiterte Asche- und Ätzanwendungen in einer Vielzahl von Branchen.
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