Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9226747 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher ist ein Gerät, das von Halbleiter- und Elektronikherstellern für die Herstellung von Nanostrukturen mit einer gewünschten Form und Größe aus einer Vielzahl von Materialien verwendet wird. Diese Ausrüstung ist in der Lage, Strukturen aus Metallen, Polymeren, Resistmaterialien und Dielektrika herzustellen. AMAT 8336 Etcher/Asher kann zwei Hauptformen von Ätztechniken durchführen, darunter tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE) und anisotropes Ätzen. Bei der Herstellung von MEMS (mikro-elektromechanische Systeme) und Mikrofluidik ist die Fähigkeit zur Durchführung von DRIE-Ätzungen aufgrund ihrer hohen Selektivität beim Ätzen von entscheidender Bedeutung. Das anisotrope Ätzen sorgt für eine kontrollierbare Ätzrate, indem die Kombination der Parameter der Ätzprozesse, wie Druck, Temperatur und Verwendung von Ätzgasen, gesteuert wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN 8336 Ätzer/Ascher besteht aus zwei Hauptkammern; eine untere Plasmakammer zum Ätzen und eine obere Lastschloßkammer zum Aufnehmen von Wafern. Die untere Kammer verwendet einen Faraday-Schild, um den zu bearbeitenden Wafer vor Lichtbogen und anderen plasmabedingten Problemen zu schützen, und es verfügt auch über einen Keramikabscheider, der hilft, ein Prozesskammervakuum von bis zu 5x10-5 Torr aufrechtzuerhalten. Die obere Kammer kann maximal 15 Wafer aufnehmen und ist mit einer temperaturgesteuerten Kassette zum genauen Be- und Entladen von Wafern ausgestattet. 8336 Etcher/Asher verwendet ein dreistufiges Verfahren zum Ätzen, wobei die Wafer mit einer Photolackschicht beschichtet, mit dem gewünschten Design strukturiert und anschließend entweder mit einem tiefen reaktiven Ionenätzverfahren (DRIE) oder einem isotropen Ätzverfahren geätzt werden. Dabei werden verschiedene Gase wie Sauerstoff, Fluor und Stickstoff in Kombination mit HF-Leistung, die zwischen 0 und 300 Watt einstellbar ist, eingesetzt. AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher verfügt auch über ein intelligentes Temperaturregelungssystem, das die Temperatur innerhalb der Prozesskammer überwacht und einstellt und eine gleichmäßige Erwärmung während des gesamten Betriebs gewährleistet. Dieses System enthält auch ein Übertemperaturschutzelement, das so eingestellt werden kann, dass der Ätzvorgang bei übermäßigen Temperaturanstiegen abgebrochen wird. AMAT 8336 Etcher/Asher enthält zusätzliche Komponenten, die die Genauigkeit und Qualität der Ergebnisse verbessern sollen, z. B. ein Sichtfenster für die Überwachung während des Ätzprozesses und die Möglichkeit, frühere Prozesseinstellungen für wiederholbare Ergebnisse zu speichern. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher mit mehreren Sicherheitsstandards, wie ANSI/IEEE/UL-CSA-499, UL-60079 und NFPA70, zertifiziert. All diese Merkmale und Sicherheitsaspekte kombinieren 8336 Etcher/Asher zu einer zuverlässigen und effizienten Wahl für Ätz- und Ascheoperationen.