Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965 zu verkaufen

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ID: 9178965
Wafergröße: 4"
Plasma etcher,4" Autoloader (6) Wafer holders.
AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100 ist ein Asher/Etcher, der entwickelt wurde, um Material zuverlässig und genau von der Oberfläche eines Substrats zu entfernen. Im Ätzprozess werden verschiedenste Ätzgase wie Bromwasserstoff, Chlorwasserstoff und SF6 eingesetzt. Es integriert modernste Endura-Hardware und -Software zur kritischen Steuerung von Temperatur, Druck und Gaszusammensetzung des Ätzprozesses. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Siliziumoxid in Wafersubstraten bis 8 "Durchmesser zu verarbeiten. AMAT AME 8100 bietet eine präzise Steuerung der Prozessparameter, um gewünschte Ätzraten und Gleichmäßigkeit zu liefern. Unter Verwendung der Echtzeit-Prozessüberwachung behält die Einheit eine wiederholbare Temperaturregelung und eine gleichmäßige Exposition des Substrats gegenüber den Ätzgasen bei. Es verfügt über steuerbare diffuse und entfernte Ätzkonfigurationen, um eine vollständige Abdeckung der Gerätegeometrie sicherzustellen. Neben der Prozesssteuerung bietet die Maschine auch flexible Substratbeladungsmöglichkeiten und innovative ein- und doppelseitige Etchbatch-Beladungsmöglichkeiten. ANGEWANDTE MATERIALIEN AME 8100 bietet überlegene Prozessgleichmäßigkeit mit hohem Durchsatz und geringer Partikelerzeugung. Für spezielle Ätzanforderungen bietet das Werkzeug Präzisionsmasken-Codierungsfähigkeit und eine Vielzahl von speziellen Ätzprozessgasen. Das Asset integriert auch zusätzliche Funktionen wie Prozessausführungsprotokollierung, Prozessnachverfolgbarkeit und automatisiertes Rezept-Management zur Optimierung von Ätzprozessen. Abschließend ist AME 8100 ein zuverlässiger und präziser Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über erweiterte Temperatur-, Druck- und Gaszusammensetzungssteuerung, Echtzeit-Prozessüberwachung, spezialisierte Prozessgase und zusätzliche Funktionen wie Prozessausführungsprotokollierung und Rückverfolgbarkeit. Mit überlegener Prozessgleichmäßigkeit und geringer Partikelerzeugung erfüllt AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100 sicher alle Ihre Ätzanforderungen.
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