Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8330 #9226105 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8330 ist ein fortschrittliches Subne-Ätzgerät, das zum Ätzen dünner Materialfilme verwendet wird. Es ist in der Lage, Hochleistungs-Großflächenätzen verschiedener Materialien wie Polysilizium, amorphes Silizium und Silizium/Germanium durchzuführen. AMAT AME 8330 Ätzer/Ascher ermöglicht die Herstellung einer Vielzahl elektronischer Gerätestrukturen. ANWENDUNGSMATERIALIEN AME 8330 ist ein plasmaverbesserter Trockenätzer mit einem Druck in der Prozesskammer von 0,01 mbar bis 1,6 mbar. Die Wafergröße kann von 300mm bis 450mm reichen. In der Kammer befindet sich ein 7-abbindender Prozessgaskrümmer, der für verschiedene Ätzprozesse wie Trocken- oder Nassätzen, Abscheiden und Aschen verwendet werden kann. Die 7 Gaseinstellungen unterstützen Gase wie Sauerstoff, Stickstoff, Argon, Chlor und Siliziumtetrafluorid (SiF4). Auf diese Weise können Anwender mehrstufige Prozesse durchführen, die sowohl Ätz- als auch Abscheidungsprozesse umfassen. Das System verfügt über eine Hochleistungs-Magnetronquelle mit einer drosselbaren Leistungseinstellung von 50W bis 400W, die eine präzise Steuerung der Leistung zum Substrat ermöglicht. Es verfügt auch über einen Hochdrehmoment-Antrieb, der eine schnelle Waferbewegung ermöglicht. Die Temperatur in der Prozesskammer kann bei Bedarf von Raumtemperatur bis 300 ° C eingestellt werden. AME 8330 ist mit mehreren Diagnosewerkzeugen ausgestattet, um die Analyse am Prozess zu erleichtern. Dazu gehören ein unabhängiges Ionenmessgerät mit einer hochpräzisen Drucksteuereinheit sowie ein Emissionsspektrometer, mit dem Prozessgase und andere Materialeigenschaften überwacht werden können. Darüber hinaus verfügt es über eine Videowafer-Überwachungsmaschine, mit der Probenbedingungen während eines Prozesses verfolgt werden können. Dieser Ätzer/Ascher ist hochautomatisiert und benutzerfreundlich und eignet sich somit für ein breites Spektrum an Forschung und Anwendungen. Das Software-Steuerungstool ermöglicht es Benutzern, komplexe Sequenzen zu programmieren, und integrierte Software bietet die Flexibilität, benutzerdefinierte Ätzrezepte und -sequenzen zu speichern. Das Asset enthält auch Rezept-Management-Software, um gespeicherte Rezepte und Ätzbedingungen zu speichern. Darüber hinaus können Benutzer Daten zur weiteren Analyse auf ein lokales Laufwerk herunterladen. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8330 ein fortschrittliches Modell Ätzer/Ascher entwickelt, um eine breite Palette von fortschrittlichen elektronischen Geräten und Musterstrukturen zu produzieren. Es ist für effizientes, gleichmäßiges Ätzen mit hoher Genauigkeit, Kontrolle und Durchsatz ausgelegt. Mit seiner benutzerfreundlichen Oberfläche, leistungsstarker Software und integrierten Werkzeugen ist AMAT AME 8330 ein ideales Modell für Ätzprozesse unterschiedlichster Materialien.