Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS AME8111 #9148207 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111 ist ein Präzisionsätzer/Ascher, der in Halbleiterherstellungs- und Forschungsprozessen eingesetzt wird. Es ist der fortschrittlichste Ätzer/Ascher in seiner Klasse und bietet einen genauen, wiederholbaren Ätzprozess mit überlegener Gleichmäßigkeit. Die Ätzkammer ist mit einer einzigen vertikalen Wandhalterung ausgebildet, die einen maximalen Ätzdurchsatz und eine Substratgröße von 8 „x 8“ bietet. Die Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses wird durch einen integrierten hochdichten Plasmagenerator erhöht, der hochdichte Plasmabedingungen mit mindestens 1,5 Torr Plasmadruck erzeugen kann. Das fortschrittliche chemische Abgabesystem von AMAT AME8111 kann ein bis vier Gase zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien verwenden. Dies macht es zu einem hochflexiblen Werkzeug für verschiedene Ätzanwendungen, wie flache Grabenisolierung, Kontaktrücknahme oder Kontaktetchback in MOSFET oder ultraflachen Verbindungseinrichtungen. Es beinhaltet auch eine erhöhte Bias-Ätzfähigkeit und eine laterale Bias-Leistungskompensation, um die Kontrolle der kritischen Ätztiefe zu unterstützen. APPLIED MATERIALS AME8111 ist mit einer AMAT patentierten Power Monitor-Schaltung ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Prozessparameter gewährleistet. Es hat auch die Fähigkeit, bis zu 50 Prozessrezepte zu speichern, was dem Bediener die Flexibilität gibt, schnell und präzise zwischen Prozessrezepten zu wechseln. Die Bedienoberfläche ist einfach mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche zu navigieren. AME8111 ist ein ideales Werkzeug zum Ätzen einer Vielzahl von Substraten, darunter Metalle und Kieselsäuren wie Quarzsubstrate. Es ist mit einem inerten ätzfesten Fluorpolymer beschichtet, wodurch es gegen korrosive Ätzchemikalien hochbeständig ist. Seine innovative radiale Ioneneinspritzgeometrie reduziert die negativen Auswirkungen der Oberflächenaufladung auf Proben, was zu einer gleichmäßigeren Ätzung führt. Der hohe Durchsatz und die präzisen Ergebnisse machen AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111 zu einer ausgezeichneten Wahl für Forschungsanwendungen. AMAT AME8111 hat auch eine optionale saubere Station für die Reinigung von Substraten vor dem Ätzen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS AME8111 etch/asher ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiterprozessen. Sein genauer und wiederholbarer Ätzprozess, sein flexibles chemisches Abgabesystem und seine intuitive Benutzeroberfläche machen es zu einer hochproduktiven und zuverlässigen Einheit. Die hohe Ätzrate, Gleichmäßigkeit und spezialisierte Eigenschaften machen es zum idealen Werkzeug für das Ätzen von empfindlichen Strukturen wie ultraseichte Verbindungen mit minimalen Schäden.