Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT #293637109 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT
ID: 293637109
Wafergröße: 12"
Etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die in der Halbleiter-, MEM- und Mikrofabrikationsindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um das präzise Ätzen einer breiten Palette von Materialien zu ermöglichen, einschließlich Silizium, Stahl und Aluminium. Das System ist mit einer optimierten Gaseinheit ausgestattet, die eine verbesserte Prozesssteuerung und Flexibilität ermöglicht. AMAT Centris AP AdvantEdge GT verwendet einen mehrstufigen Ätzprozess, um Präzisionsergebnisse zu gewährleisten. Sie beginnt mit einem Vorverarbeitungsschritt, bei dem das Ätzgut für den Ätzvorgang vorbereitet wird. Danach folgt der Hauptätzschritt, bei dem Gase in die Prozesskammer eingeleitet werden und ein Hochleistungsplasma aus einer extern montierten Ionenquelle aufgebracht wird. Mit diesem Plasma wird das Material vom Substrat weggeätzt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centris AP AdvantEdge GT kann sowohl planare als auch nicht planare Flächen für Ätzanwendungen mit hohem Seitenverhältnis verarbeiten. Die Maschine wurde entwickelt, um ultrahohe Seitenverhältnisätzergebnisse von bis zu 20:1 zu erzielen. Es kann auch für fortgeschrittene Tiefgrabungsanwendungen verwendet werden. Das Tool ist hochautomatisiert und bietet mehrere Prozessüberwachungsmodi einschließlich Lastsperre und Massenstrom. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzprozess genau gesteuert und überwacht wird. Centris AP AdvantEdge GT kann auch die Ätztiefe mit Tiefensensortechnologie messen, um sicherzustellen, dass die gewünschte Ätztiefe erreicht wird. AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT Asset ist für optimale Prozesssicherheit und Wiederholbarkeit optimiert. Seine robuste Materialverträglichkeit ermöglicht es Anwendern, eine breite Palette von Materialien mit noch größerer Genauigkeit zu ätzen. Darüber hinaus verfügt es über eine In-situ-Reinigungsfunktion, mit der Benutzer das Modell während der Ausführung reinigen können. Abschließend ist AMAT Centris AP AdvantEdge GT eine leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine, die für das Präzisionsätzen einer Vielzahl von Materialien ausgelegt ist. Das System nutzt einen mehrstufigen Ätzprozess für ultrahohe Seitenverhältnisätz- und Tiefgrabungsanwendungen. Es bietet automatisierte Prozesssteuerungen für erhöhte Genauigkeit, Prozesssicherheit und Wiederholbarkeit. Mit robuster Materialverträglichkeit ist APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT eine ideale Ätzlösung für die Halbleiter- und MEMS-Industrie.
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