Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627633 zu verkaufen
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ID: 293627633
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Etcher, 12"
Process: Poly etch
(6) Chambers
(4) Load ports
Gases: Cl2, HBr, CHF3, SiCl4, CH4, O2, N2, Ar, He, CF4
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Ausrüstung zum Ätzen und Aschen einer Reihe verschiedener Materialien wie Silizium, Metalle und Polymere. Der Centris G5 ist eines der fortschrittlichsten Ätz-/Aschersysteme auf dem Markt, das mit einer breiten Palette von Materialien präzise ätzen, aschen und mustern kann. Das System verfügt über eine eigenständige All-in-One-Plattform in automatisierter, modularer Bauweise, die die direkte Integration von Komponenten und Instrumenten ermöglicht, einschließlich Veeco-Ätzkammern, Varian/RHT-Vakuumschubladen und einem Heizungskopf. Der Centris G5 verfügt über eine Vielzahl integrierter Prozesskammern, die jeweils für die Bearbeitung eines anderen Materialtyps und die Erfüllung spezifischer Prozessanforderungen ausgelegt sind. Die fokussierten Ionenstrahlätzer und Ascher sind in der Lage, präzise Löcher und Gräben zu erzeugen, die durch die benutzerdefinierten Substrate definiert werden. Die verarbeiteten Materialien reichen von Silizium, Metallen und Polymeren bis hin zu Photomaskendesigns und nicht konformem Musterdesign. Der Centris G5 verfügt auch über einen Mehrfrequenz-Mikrowellengenerator, der Hochfrequenzätzen mit größerer Definition und breiterem Seitenverhältnisbereich ermöglicht. Die großflächige Waferbearbeitung ermöglicht einen größeren Volumendurchsatz und ermöglicht die Verarbeitung von bis zu vier Substraten unterschiedlicher Größe in einem Ätzzyklus. Die Centris G5 Einheit ist auch mit Funktionen ausgestattet, die Erträge erhöhen und Zykluszeiten reduzieren, einschließlich der TruClean automatisierten Reinigungsfunktion, um Substratintegrität und Sauberkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus nutzt die Maschine eine hochgleiche Plasmareinigung mit konsistenten Gasströmen für schnellere Ätzzyklen. Der Centris G5 ist für hohen Durchsatz konzipiert und liefert eine Zykluszeit, die 20-30% schneller ist als der Marktdurchschnitt. Das Werkzeug bietet bis zu 100 Watt Spitzenätzleistung und ermöglicht eine hochpräzise, großflächige Bearbeitung unter Beibehaltung enger Toleranzen und genauer Ätzplatzierung. AMAT Centris G5 Mesa nutzt hochrangige Automatisierungs-, Präzisionssteuerungs- und erweiterte Asset-Funktionen und ist das ideale Werkzeug zum Ätzen und Auswerten einer Vielzahl von Materialien. Der automatisierte, modulare Aufbau erhöht den Durchsatz und bietet gleichzeitig die Flexibilität und Fähigkeit, unterschiedliche Substratgrößen mit hoher Genauigkeit zu verarbeiten. Das hochintegrierte Modell bietet auch erhöhte Ausbeute, Sauberkeit und Zykluszeit und ist damit das ideale Werkzeug für jede prozessintensive Ätz-/Ascheranwendung.
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