Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627635 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa ist eine Etch/Asher-Ausrüstung, die für den schnellen und präzisen Mustertransfer von Materialien in Halbleiterbauelementanwendungen verwendet wird. Es handelt sich um ein Batch-Prozesssystem, das sowohl mit Ätz- als auch Ascheprozessmodulen ausgelegt ist. Das Gerät bietet fortschrittliche, mehrstufige Etch/Anders-Prozesse in einem äußerst zuverlässigen, kostengünstigen Paket. AMAT G5 verfügt über Dualkammer-Technologie, die sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse in derselben Maschine ermöglicht. Das integrierte Prozessnetzteil nutzt eine einzigartige „High Current High Power“ (HCHP) Switch-Konfiguration, die es ermöglicht, bis zu 50A in einem einzigen Netzteil zu versorgen, was effiziente, wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Tool über ein optionales in-situ O2 Vorbehandlungsmodul, das hinzugefügt werden kann, um die Prozesseinrichtungszeiten deutlich zu beschleunigen. ANGEWANDTE MATERIALIEN G5 ist in der Lage, extrem präzise, wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse durch seine fortschrittliche zweizeilige Strahlmaskierung, hochauflösende Verschlusskontrolle und aktive Substrattemperaturregelung zu erreichen. Es verfügt über ein robustes Temperaturmanagementmodell, das einen Temperaturbereich von -40 bis 200 ° C bietet und sich bei 1⁰C Sollgenauigkeit stabilisiert. Darüber hinaus wird eine Feinprozesssteuerung mit ihrer Fähigkeit zur Aktivierung und Deaktivierung des Stickstoffstroms auf Sub-Millisekundenebene ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 Ätz- und Ascheausrüstung hat auch eine große Prozessfläche, mit bis zu 500 mm Waferfläche. Es unterstützt bis zu 25 Wafer auf einmal, erhöht den Durchsatz und ermöglicht eine schnelle und effiziente Verarbeitung von Chargen. Darüber hinaus ermöglicht das System mit seiner Kammerdiagnostik die Überwachung von Kammerzuständen in Echtzeit, um frühzeitige Ausfälle und Alarme zu erkennen. Die Sicherheit wird mit diesem Gerät durch eine breite Palette von Sensoren gewährleistet. AMAT G5 Mesa ist eine innovative Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die Halbleitergeräteindustrie entwickelt wurde. Seine robuste Zuverlässigkeit, Produktivität, Prozesskontrolle und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen.