Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3Y Poly #293625534 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris SYM3Y Poly Etcher/Asher ist eine Ausrüstung für hochpräzise Ätz- und Ascheprozesse. Dieses System nutzt reaktiv-ionenätzende (RIE) und induktiv gekoppelte Plasmaätzfähigkeiten (ICP), um qualitativ hochwertige Ergebnisse mit extrem niedrigen Temperaturen und minimalen Probenschäden zu erzielen. Die ICP-Ätztechnik kann für eine Reihe von Anwendungen verwendet werden, wie tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE), Erstellen von strukturierten Oberflächen oder Ätzen von Strukturen in Substrate. Es kombiniert hohe Ätzraten, ausgezeichnete Ätzselektivität und einen guten Füllfaktor, um hochpräzise Muster und Ätztiefen zu gewährleisten. Zusätzlich ist die Einheit mit einem koaxialen Düsenascher ausgestattet, der einen gleichmäßigen, niedrigen Temperaturaschevorgang bietet, der Probenschäden vermeidet. AMAT Centris SYM3Y Poly Etcher/Asher betreibt eine innovative Controller und Software-Suite, die eine Feinabstimmung von Ätz- und Ascheparametern ermöglicht, einschließlich Ätztiefe und Reaktantenzusammensetzung, Druck und Durchfluss, Substratvorspannung und Leistungspegel sowie Ätzzeit. Der Controller verfügt auch über eingebettete Prozessschlösser, die es dem Bediener ermöglichen, einen maximalen Druck und Durchfluss einzustellen, um Schäden an Proben zu vermeiden. Die Benutzeroberfläche ist intuitiv und benutzerfreundlich und ermöglicht eine schnelle Programmierung von Parametern sowie Reporting und Datenprotokollierung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centris SYM3Y Poly Etcher/Asher bietet eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit während der gesamten Ätz- und Aschekammer und sorgt für konsistente Ergebnisse unabhängig von der Substratgröße. Die Maschine wurde entwickelt, um Verunreinigungen und Kühlzeiten zu reduzieren und ist mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel, darunter auf Fluor-, Chlor- und Stickstoffbasis. Es verwendet auch eine proprietäre Containment-Technologie mit einem 200 mm Radius und mehreren Containment-Zellen, um sicherzustellen, dass Ätz- und Aschechemikalien enthalten sind, was zu reduzierten Prozesskosten führt. Darüber hinaus umfasst das Tool benutzerdefinierte Sicherheitsverriegelungen, wodurch das Risiko einer versehentlichen chemischen Exposition verringert wird. Insgesamt ist Centris SYM3Y Poly Etcher/Asher ein innovatives Asset, das robuste Ätz- und Aschefunktionen für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Es kombiniert eine anspruchsvolle, benutzerfreundliche Steuerung und Software-Suite mit einem innovativen Kammerdesign und Containment-Modell und bietet hervorragende Ergebnisse mit reduzierten Kontaminations- und Kühlzeiten.