Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9294774 zu verkaufen
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ID: 9294774
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Polysilicon plasma etcher, 12"
0190-33716 SINFONIA SELOP 7 Corrosion resistant
(4) Load ports, 12"
(2) 0190-34832 FI Robots
KAWASAKI TX210
0190-32011 MF Vacuum robot drive assembly
FX Robot
Missing parts:
AC Rack
Aligner
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für die Herstellung komplizierter Muster in Materialien wie Keramik, Glas, Metall, Polyimid und Si-Silizium entwickelt wurde. Die Vorrichtung besteht aus zwei Hauptkomponenten - die erste ist eine Gasquelle, typischerweise O2 oder molekulares Fluor (F2), und die zweite ist eine Wärmequelle. Die Doppelfähigkeit ergibt sich aus der Verwendung von zwei Elektrodenplatten, die eine variable Einstellung der angelegten Spannung ermöglichen. Für die Materialbearbeitung verwendet AKT Centris ein plasmagestütztes Freisetzungsverfahren. Dabei wird das Material im Kontakt mit der Oberfläche eines Wafers mit Plasma lokal verdampft, zerlegt oder abgeschleift. Dadurch wird sichergestellt, dass komplizierte Muster unter Vermeidung von Schäden an den umgebenden Bereichen auf diese Substrate geätzt oder axt werden können. Mit diesem Verfahren lassen sich hochwertige, komplizierte Muster herstellen, die eine schnelle Herstellung einzigartiger Bauteile ermöglichen. AMAT Centris verwendet auch eine Reihe von Prozeßregelparametern, einschließlich Temperatur, Plasmagasdruck und angelegte Spannung. Durch die Steuerung dieser Parameter können die gewünschten Ätz- oder Aschetiefen erreicht werden. Darüber hinaus arbeitet das Gerät sowohl im Plasma-on als auch im Plasma-off-Modus und ermöglicht eine präzisere Mustererzeugung. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über eine Reihe von Prozesszäunungs- und Prozessauszeitalarmen, die dazu beitragen, dass Muster innerhalb der gewünschten Toleranzen erzeugt werden. Zusammengefasst ist APPLIED MATERIALS Centris ein hochzuverlässiger und präziser Ätzer/Ascher, mit dem komplexe Muster in Materialien wie Keramik, Glas, Metall, Polyimid und Si-Silizium hergestellt werden können. Mit seinen Doppelelektrodenplatten und variablen Prozeßsteuerungsparametern kann das Gerät sicherstellen, dass komplizierte Muster präzise und konsistent erstellt werden, um Materialverschwendung während der Produktion zu reduzieren. Darüber hinaus hilft die Einbeziehung von Prozesszäunungs- und Prozessauszeitalarmen, Prozessdrift zu verhindern. Als solches ist die Vorrichtung ein wertvolles Werkzeug bei der Herstellung komplizierter Bauteile.
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