Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293802319 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 293802319
Polysilicon etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly Ätzer/Ascher ist eine Hightech-Präzisionsätz-/Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um unerwünschte Materialien präzise zu ätzen und zu entfernen. Dieses System ist in der Lage, Materialien auf mikroskopischer Ebene zu ätzen und zu entfernen, so dass es ideal für Anwendungen ist, die höchste Genauigkeit und Präzision erfordern. Die Einheit verfügt über zwei getrennte Kammern, die je nach Anwendungsfall unabhängig oder kombiniert arbeiten können. Die Ätzkammer ist mit einer Plasmareinigungsstation ausgestattet, die bis zu 3 Mikrometer dicke Materialien reinigen kann. Diese Station ist für Ultrahochvakuum ausgelegt und kann Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll verarbeiten. Eine schnelle Backfunktion ermöglicht schnellere Zykluszeiten und schnellere Setups. Die zweite Kammer ist die Aschekammer. Es verfügt über eine Elektronenstrahlpistole zum Entfernen dünner Materialschichten von der Oberfläche des Substrats. Die Pistole kann kV bis 250, so dass es Material mit Geschwindigkeiten von bis zu 2000 nm pro Sekunde Asche. Es kann auch einen stabilen Strahl von bis zu 7500A erzeugen und eine Strahlfleckengröße von bis zu 20 Mikron erzeugen. Die Pistole ist auch in der Lage, den Ionenstrom von 3.5mA nach 22mA zu steuern. Neben den beiden Kammern verfügt die Maschine auch über fortschrittliche Sicherheits- und Umweltschutzmaßnahmen. Es verfügt über ein integriertes Druckregelwerkzeug, das plötzliche Druckänderungen in der Kammer verhindert und Beschädigungen der Maschine oder des Substrats verhindert. Es ist mit einem akustischen Alarm ausgestattet, der auslöst, wenn das Asset ein Problem erkennt, sodass die Operatoren schnell handeln können. Die Maschine verfügt auch über ein Backup-Netzteil, das den Betrieb für bis zu dreißig Minuten aufrechterhält, wenn die primäre Stromversorgung verloren geht. AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly etcher/asher ist eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen, die hohe Genauigkeit und Präzision erfordern. Es verfügt über erweiterte Sicherheits- und Umweltschutzmaßnahmen sowie eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine schnelle und einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht das Modell ein hochpräzises Ätzen und Entfernen unerwünschter Materialien, wodurch es perfekt für jede Anwendung ist, die ein hohes Maß an Genauigkeit erfordert.
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