Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal #293802318 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal ist ein Ätzsystem, das zur Herstellung von Geräten konzipiert ist, die hohe Längengrade und hohe X-Y-Ätzgleichmäßigkeit erfordern. Mit einer robotisierten Arbeitszelle ist dieser Ätzer in der Lage, eine präzise und wiederholbare Prozesssteuerung bereitzustellen, die für Hochleistungs-MEMS und Halbleiterbauelemente unerlässlich ist. AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Metal enthält ein nasses oder trockenes Ätzwerkzeug, das für verschiedene Prozessanforderungen konfiguriert werden kann. Der Ätzprozess wird durch eine fortschrittliche ECR-Plasmaquelle mit heißem Wafer-Handling angetrieben und bietet niedrige Betriebskosten und hohe Durchsätze für die Massenproduktion. Darüber hinaus ist die ECR-Plasmaquelle in der Lage, eine hohe Selektivität und ausgezeichnete Ätzqualität zu liefern und gleichzeitig Kontaminationen zu minimieren. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP AdvantEdge G5 Metal unterstützt eine breite Palette von Materialien wie Kupfer, Wolfram und Polysilizium und ermöglicht eine präzise Kontrolle des Ätzprofils und der Funktionsgröße. Es verfügt über ein patentiertes digitales Feedback-Subsystem zur genauen und wiederholbaren Kontrolle von Druck, Temperatur und Durchflussrate, so dass es enge Toleranzen und Gleichmäßigkeitsanforderungen erfüllt. Centura AP AdvantEdge G5 Metal verfügt auch über erweiterte Zentrifugenschaltung und einen Wafer-Prealigner, die wichtige Merkmale für die fortschrittliche mikroelektronische Geräteherstellung sind. Die Zentrifuge ermöglicht es Benutzern, Ätzrezepte im Handumdrehen zu wechseln, ohne jeden Wafer vor der Verarbeitung neu ausrichten zu müssen. Der Wafer-Prealigner sorgt für eine genaue Wafer-Positionierung vor dem Ätzen und bietet die Flexibilität, Multi-Wafer-Konfigurationen von einem Lauf aus genau zu verarbeiten. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal ist ein integriertes Etch-System aus einer Hand, das hohe Seitenverhältnisätzungen mit Funktionsgrößen von 0,2 mu bis 5 mu ermöglicht. Es verwendet erstklassige Materialien wie keramische Kammerarchitektur, fortschrittliche Metallkeim- und Trimmmasken und keramische Heizelemente, um eine optimale Prozesskontrolle, maximale Wiederholbarkeit und überlegene Ausbeute zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst der Ätzer umfassende Rezept- und Softwarefunktionen zur Datenerfassung, Diagnose und Prozessoptimierung.