Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly #9252462 zu verkaufen

ID: 9252462
Polysilicon etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Das Gerät ist mit einer Poly-Oxid-Plasmaquelle ausgestattet, die ein optimales Ätzen und Aschen mit einem Inertgas oder einem halbreaktiven Gas ermöglicht. Das Aschen ist ein wichtiger Prozess, der Verunreinigungen entfernt, während das Ätzen verwendet wird, um unerwünschtes Material zu entfernen oder Silizium oder andere Halbleitermaterialien zu formen. AMAT Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly ist mit einem in situ Opti-Lab Überwachungssystem ausgestattet, das detaillierte Rückmeldungen zum Ätz- und Ascheprozess liefert und eine Feinabstimmung und verbesserte Prozesskontrolle ermöglicht. Quellleistung, Kammerdruck, Faraday-Schild und andere Parameter werden in Echtzeit gemessen und können zur Prozessoptimierung verwendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly ist mit einer Vielzahl von Optionen für Prozessrezepte und Materialverträglichkeit ausgestattet und ermöglicht einen hohen Durchsatz mit einer Vielzahl von Materialien. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Temperaturregelmaschine ausgestattet, die eine präzise Regelung von Temperatur- und Energieniveaus während der Ätz- oder Ascheprozesse ermöglicht. Der Ätzer/Ascher ist mit einer breiten Palette von Netzteilen kompatibel, mit Leistungsstufen bis zu 300 Watt. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Genauigkeit von innerhalb eines Prozent zu liefern, so dass eine genaue Kontrolle von Plasma und anderen Prozessparametern. Die integrierte Luftbefesselung beseitigt mögliche Verschmutzungen und ermöglicht eine präzise Steuerung von HF-Leistung und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Reihe von Überwachungswerkzeugen, wie die Embedded Vision Equipment und Partikel (PTM) und Electron Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX), um eine weitere Kontrolle und Rückmeldung über den Ätz- und Ascheprozess zu ermöglichen. Darüber hinaus ist Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly einfach zu bedienen, wartungsfrei und sehr wirtschaftlich, so dass es ideal für die Herstellung moderner Halbleitermaterialien von heute ist.
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