Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #9296966 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS
ID: 9296966
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Polysilicon etcher, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS ist eine vollautomatische Ätz-/Aschermaschine, die entwickelt wurde, um ultra-saubere und präzise Funktionen bei wettbewerbsfähigen Geschwindigkeiten zu produzieren. Ein fortschrittliches Reticle-System ermöglicht es, mehrere Ätzrezepte mühelos zu programmieren und auszuführen, während die duale Prozesskammer-Konstruktion Rückwärts- und Rücklaufprozesse in einem Ätzschritt ermöglicht. AMAT Centura AP DPS nutzt ein leistungsstarkes Plasma mit Hochdruck-RIE-Fähigkeit und kann Funktionen mit hohem Seitenverhältnis mit minimalem Rückbuchungseffekt und präzisen Seitenwandwinkeln erzeugen. Darüber hinaus wurde dieses Gerät entwickelt, um flexible Prozessflexibilität mit einer Vielzahl von verfügbaren Prozesschemien sowie Prozessüberwachungsoptionen zu bieten, um eine fehlerfreie, wiederholbare Leistung zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP DPS bietet intuitive Software und fortschrittliche N2/O2/SF6 Steuerung, so dass der Bediener die Ätz- und Schalterchemie leicht verstehen kann. Centura AP DPS wird mit einem Vakuumraum ausgestattet, der für das globale RIE-Ätzen, sowie eine niedrige Temperatur kälteerzeugende Degas-Eigenschaft für das fortgeschrittene Metallätzen entworfen ist. Es verfügt auch über eine eingebaute Schlitzpumpe, die für eine Vielzahl von Drücken und Vakuumniveaus geeignet ist, sowie eine austauschbare Kammer für einfache Wartung. Die Maschine umfasst auch mehrere Benutzer, um Teammitglieder mit unterschiedlichen Erfahrungen und Prozessen unterzubringen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS ist CMOS-kompatibel und kann Linienbreiten von 0,1 bis 5 µm, ein lineares Seitenverhältnis von bis zu 20:1 und eine Tiefenregelung von bis zu 8 µm erzeugen. Ein integriertes Steuerwerkzeug bestehend aus Gaspanel, Stromgenerator und Rotor-in-situ-Monitor ermöglicht eine dynamische Prozesssteuerung und präzise Einstellungen. Diese Anlage ist auch mit einem automatisierten Reinigungsmodell ausgestattet, das ein integriertes Chemie-Management-Equipment für eine effiziente Reinigung und ein automatisiertes Wafer-Handling-System für serielle Laufprozesse verwendet. Mit AMAT Centura AP DPS können Anwender ultrasaubere und präzise Funktionen mit und ohne Unterstützung erwarten. Diese Einheit erweist sich als eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die ein Ätzgerät für Forschung und Entwicklung sowie begehrte Produktionsanforderungen suchen.
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