Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Avatar #9375621 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Avatar
ID: 9375621
Oxide etcher CH4.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Avatar ist eine hochentwickelte Ätz- und Aschermaschine, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es wurde entwickelt, um überlegene Wafer-Gleichmäßigkeit und überlegene Ätzqualität zu bieten, was eine überlegene Geräteleistung ermöglicht. Dieses System verwendet ein Einzelkammerdesign, um eine präzise Strukturierung von Plasmaätzen und Aschen mit einer integrierten Plasmaquelle zu erstellen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Diese Plasmaquelle erzeugt eine Mischung aus ionisierten Gasen, die dann mit der Oberfläche des Substrats reagieren, um ihre Eigenschaften zu modifizieren. Der kombinierte Ätz- und Aschevorgang erzeugt sehr feine Eigenschaften bis zu 1 Mikron mit hoher Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. AMAT Centura Avatar ist außerdem mit einer proprietären Mustergeneratorschaltung ausgestattet, die eine genaue Musterregistrierung ermöglicht. Dieser Generator verwendet eine Kombination aus Röntgenlithographie und E-Strahl-Lithographie, um Präzision bei der Platzierung und Ausrichtung von Merkmalen zu gewährleisten. Es ermöglicht auch einen hohen Durchsatz mit schnellen Ätz- und Ascheraten und Mustergenauigkeit über einen weiten Bereich von Temperaturen. Darüber hinaus verfügt der Avatar über eine integrierte PerfectMatch-Kammer, die die geätzte Oberflächenqualität verbessert und eine breite Palette von Leistungsmessgrößen für Halbleiterbauelemente verbessert. Diese Kammer weist eine Kippwafer-Ladeeinheit, einen rotierenden Waferträger und einen Druckbehälter auf, der sich auf eine Vielzahl von Wafergrößen einstellt. Schließlich enthält der Avatar eingebaute Sicherheitsfunktionen wie eine Vakuum-/Lecksuchmaschine und eine Stickstoff/Argon-Injektion zum Schutz der Arbeiter und des Werkzeugs vor Plasmakontamination. Verschiedene Prozessgefäße bieten überlegene Vakuumfähigkeiten und Energiezufuhr, und alle Systeme verfügen über ein automatisches Druckeinstellprofil, um eine überlegene Druckregelung während des Ätzprozesses bereitzustellen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Avatar ist ein leistungsstarkes Ätz- und Aschegut, das qualitativ hochwertige Funktionen mit extrem hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit herstellt. Der fortschrittliche Mustergenerator, die integrierte PerfectMatch-Kammer und die ausgeklügelten Sicherheitsfunktionen machen ihn zur perfekten Wahl für die fortschrittliche Halbleiterherstellung.
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