Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9286855 zu verkaufen

ID: 9286855
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa ist eine auf Ätz-/Ascheprozesse spezialisierte Ausrüstung der Produktionsklasse. Es ist für ertragsstarke und kostengünstige Fertigung sowie tiefe Submikron-Geometrien ausgelegt. Die Centura DPS II verfügt über eine hochmoderne parallele Dual-Beam-Optik, die eine schnelle Substratheizung und eine präzise vertikale und horizontale Ausrichtung für ein präzises Ätz-/Ascheprofil ermöglicht. Sein optisches System hat eine maximale Substratgröße von 6 Zoll mal 6 Zoll und verwendet einen Klasse-1-Laser. Das Gerät nutzt mehrere Kammern zur Ätzprozessoptimierung, während seine Inline-Massenstromregler mit direktem Antrieb die präzise Prozesssteuerung und maximale Reproduzierbarkeit gewährleisten. Die Centura DPS II besteht aus einem Plasmagenerator, einer HF-Stromversorgung, einer Ionenquellen-Stromversorgung, einem Lastschloss und Substratübertragungskomponenten, die für die atmosphärische, vakuale oder kryogene Verarbeitung konfiguriert werden können. Sein Prozesssteuerungsmodell ist auch programmierbar, um eine Echtzeit-Optimierung der Plasmachemie und Verweilzeiten zu ermöglichen, was präzise und wiederholbare Ätz-/Ascheergebnisse ermöglicht. Der DPS II wird von der Steuerungssoftware ADVANTEdge Control Software angetrieben, die eine vollständige und Echtzeit-Überwachung der Geräte mit der Fähigkeit zur automatischen Abstimmung zur Aufrechterhaltung einer optimalen Ätzleistung ermöglicht. Es verfügt auch über vorprogrammierte Rezepte optimiert für Ätz-/Asche, ermöglicht eine einfache Verarbeitung, mit einer Bibliothek von Prozessrezepten, die Betreiber speichern und zugreifen können. Die Maschine ist als effektiver, leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher konzipiert und bietet höchste Ätzgleichmäßigkeit bei hervorragender Prozesswiederholbarkeit. Der DPS II ist sowohl für Prototyp- als auch für Produktionsanwendungen einsetzbar und eignet sich ideal für die Herstellung von High-End-ICs und HF-Komponenten.
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