Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293586295 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa Asher/Etcher ist eine Hochleistungs-Ätz- und Aschemaschine, die für die Abscheidung von dünnen Schichten und ultraseichten Übergängen in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Dieses System verwendet zwei getrennte, unabhängig steuerbare Prozesskammern, um das Ätzen mehrerer Schichten mit unterschiedlichen Parametern zu ermöglichen. Der DPS II Mesa Asher/Etcher ist mit zwei unabhängigen Aluminiumreaktions- und Diffusionskammern ausgestattet, die das gleichzeitige Ätzen von zwei getrennten Schichten mit unterschiedlichen Ätzparametern ermöglichen. Die Kammern werden mit Substraten beladen, wobei sowohl eine stromaufwärtige als auch eine stromabwärtige Kammer zum Ätzen verwendet wird. Zur Bewegung der Wafer zwischen den getrennten Kammern dient eine beheizte Transfereinheit. Die Maschine ist für Anwendungen im Bereich fortschrittlicher Halbleitertechnologien konzipiert, einschließlich der Bildung von Geräten wie gestapeltem poly-kristallinem SiON und ultraflachen Anschlüssen, Back-End of Line (BEOL) dielektrischem Ätzen, Cu/Low-K und anderen Anwendungen. Das Werkzeug bietet ultrapräzise, Hochgeschwindigkeitsätzen von bis zu 50 mm Wafern in einem sequentiellen Lauf. Darüber hinaus bietet es eine optimale Gleichmäßigkeit von bis zu ± 0,2% bei unterschiedlichsten Bedingungen. Der DPS II Mesa Asher/Etcher ist mit mehreren Technologien ausgestattet, einschließlich ActiveProcess™ Steuerung, die die Echtzeit-Prozesssteuerung von in situ Ätztiefe und Gleichmäßigkeit überwacht und aufrechterhält. Diese Technologie ermöglicht dem Vermögenswert, Rezeptgenauigkeit und Oblate-zu-Oblate-Gleichförmigkeitsverhältnisse besser aufrechtzuerhalten, als 1%. Das Modell ist auch mit OptiFlo Plus™ ausgestattet, die Prozessgase für beide Kammern mit einer Kombination aus Hochdruck, Niederdruck, Fern- und Direktgaseinspritzung liefert. Die Gasförderanlage ist flammwidrig und geräuscharm, was die Emissionen reduziert und damit die Sicherheit im Arbeitsumfeld erhöht. Insgesamt bietet AMAT Centura DPS II Mesa Asher/Etcher eine zuverlässige, genaue und durchsatzstarke Lösung für Halbleiterätz- und Ascheanwendungen. Unter Verwendung optisch gesteuerter Prozessparameter, vielseitiger Substrathandhabung und In-situ-Tiefenkartierung ist das System gut für die fortschrittliche Gerätebearbeitung und -herstellung geeignet.
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