Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293608133 zu verkaufen

ID: 293608133
Wafergröße: 12"
Etcher, 12" EFEM: KAWASAKI ATM Robot (4) Process chambers: (3) DPS II Chambers Axiom chamber Buffer chamber (VHP + Robot) Process: Poly AC Rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der in Halbleiteranwendungen verwendet wird. Es verfügt über eine ultrahohe Richtätz- und Aschefähigkeit für hohen Durchsatz und Prozesssteuerung. AMAT Centura DPS II Mesa nutzt eine hochauflösende Plasmaquelle, fortschrittliche Prozesssteuerungen und eine einzigartige integrierte Hardwareplattform, um überlegene Ashing- und Ätzleistung in den anspruchsvollsten Anwendungen zu bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II Mesa ist ein Werkzeug, das eine präzise Verarbeitung von Halbleitern ermöglicht. Es hat drei verschiedene Quellentypen - positive (positive-bias), negative (negative-bias) und neutrale (nicht-voreingenommene) - für verschiedene Ätz- und Ascheszenarien. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen und mehrere Wafer gleichzeitig verarbeiten. Centura DPS II Mesa verfügt über erweiterte Ätz-/Ascheprozesssteuerungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, präzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu erzielen, wie flache Trenchisolierung (STI), Photoresist-Asche und Metallätzen. Das Werkzeug unterstützt auch fortschrittliche Betriebsparameter, einschließlich Gasgemisch, HF-Leistung und Kammerdruck, die in Echtzeit programmiert und überwacht werden können. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa ist äußerst zuverlässig, effizient und einfach zu bedienen. Es verfügt über ein Selbstüberwachungssystem, das Wartungsaufwand reduziert, und eine integrierte Öse, die prozesskritische Wafer-Tracking für eine genaue und effiziente Verarbeitung erleichtert. Es verfügt auch über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache Parametereinrichtung und -verwaltung ermöglicht. AMAT Centura DPS II Mesa ist ein Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Zuverlässigkeit für Halbleiteranwendungen bietet. Es verfügt über fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie und eine einzigartige Hardwarekonfiguration, um präzise Ätz-/Ascheergebnisse zu liefern. Es ist einfach zu bedienen und hat eine geringe Wartungslast. Es ist eine ideale Lösung für Anwender, die eine hochpräzise Hochdurchsatzverarbeitung für ihre Halbleiteranwendungen benötigen.
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