Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293608133 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293608133
Wafergröße: 12"
Etcher, 12"
EFEM: KAWASAKI ATM Robot
(4) Process chambers:
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
Buffer chamber (VHP + Robot)
Process: Poly
AC Rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der in Halbleiteranwendungen verwendet wird. Es verfügt über eine ultrahohe Richtätz- und Aschefähigkeit für hohen Durchsatz und Prozesssteuerung. AMAT Centura DPS II Mesa nutzt eine hochauflösende Plasmaquelle, fortschrittliche Prozesssteuerungen und eine einzigartige integrierte Hardwareplattform, um überlegene Ashing- und Ätzleistung in den anspruchsvollsten Anwendungen zu bieten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II Mesa ist ein Werkzeug, das eine präzise Verarbeitung von Halbleitern ermöglicht. Es hat drei verschiedene Quellentypen - positive (positive-bias), negative (negative-bias) und neutrale (nicht-voreingenommene) - für verschiedene Ätz- und Ascheszenarien. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll aufnehmen und mehrere Wafer gleichzeitig verarbeiten. Centura DPS II Mesa verfügt über erweiterte Ätz-/Ascheprozesssteuerungsfunktionen, die es Anwendern ermöglichen, präzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu erzielen, wie flache Trenchisolierung (STI), Photoresist-Asche und Metallätzen. Das Werkzeug unterstützt auch fortschrittliche Betriebsparameter, einschließlich Gasgemisch, HF-Leistung und Kammerdruck, die in Echtzeit programmiert und überwacht werden können. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa ist äußerst zuverlässig, effizient und einfach zu bedienen. Es verfügt über ein Selbstüberwachungssystem, das Wartungsaufwand reduziert, und eine integrierte Öse, die prozesskritische Wafer-Tracking für eine genaue und effiziente Verarbeitung erleichtert. Es verfügt auch über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache Parametereinrichtung und -verwaltung ermöglicht. AMAT Centura DPS II Mesa ist ein Ätzer/Ascher, der überlegene Leistung und Zuverlässigkeit für Halbleiteranwendungen bietet. Es verfügt über fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie und eine einzigartige Hardwarekonfiguration, um präzise Ätz-/Ascheergebnisse zu liefern. Es ist einfach zu bedienen und hat eine geringe Wartungslast. Es ist eine ideale Lösung für Anwender, die eine hochpräzise Hochdurchsatzverarbeitung für ihre Halbleiteranwendungen benötigen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor