Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #293624189 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293624189
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Metal etcher, 12"
EFEM
Process: Metal
TM Module
(3) G2 Metals
AC Rack
Side storage
(2) SMC Chillers
(3) Cathode chillers
Utility box
Tote
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal ist eine Nassätz- und Aschemaschine zur Herstellung integrierter Schaltungen in der Halbleiterbauelementherstellung. Im Vergleich zum herkömmlichen Nassätzverfahren bietet AMAT Centura DPS II Metal eine deutlich verbesserte Leistung, Effizienz und Ausbeute. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten. Die erste Komponente ist die Kammer, die eine Polymerquelle, einen Sujin-Strahl und eine Vakuumquelle enthält. Die Kammer ist darauf ausgelegt, eine sehr gleichmäßige Bearbeitung zu erreichen, Oberflächenfehler zu beseitigen und eine engmaschige Prozesssteuerung zu ermöglichen. Die Magnete in der Polymerquelle können für energiereiche und energiereiche Vorgänge konfiguriert werden, was zu einer präziseren Prozesssteuerung führt. Zusätzlich erzeugt der Sujin-Strahl ein einheitliches Ätzmuster, das ein kontrollierteres Ätzprofil als herkömmliche Nassätzprozesse ermöglicht. Die zweite Komponente der Einheit ist die Steuerung. Es besteht aus einer programmierbaren Logiksteuerung (SPS) mit einer Vakuummaschine, einem Kammerdrucksensor und einem Trockenschrank. Die SPS versorgt das Kammer- und Vakuumwerkzeug mit Sollwerten und Steuerbefehlen während Ätz- und Ascheroperationen für eine verbesserte Prozesssteuerung. Der Drucksensor innerhalb der Kammer hilft bei der genauen Prozesssteuerung durch Überwachung des Atmosphärendrucks, um einheitliche Ätzergebnisse zu gewährleisten. Der Trockenschrank enthält sauerstoffempfindliche Komponenten und hilft auch bei der Temperaturregelung, so dass das Gut in einem stabilen Temperaturbereich bleibt. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine automatisierte Ladeeinrichtung, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, indem die Wafer jedes Mal in der gleichen Position geladen werden. Insgesamt hat APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal mehrere Eigenschaften, die es zu einer großen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen in Bezug auf optimale Leistung, Effizienz und Ausbeute machen. Aufgrund seiner präzisen Prozesskontrolle liefert es schnell und mit minimalen Mängeln qualitativ hochwertige Ergebnisse. Das automatisierte Ladesystem hilft auch, Unstimmigkeiten zwischen Wafern zu minimieren. Seine benutzerfreundliche Oberfläche macht es einfach, die Prozesseinstellungen für verschiedene Ätz- und Aschenbedürfnisse anzupassen. All diese Vorteile machen Centura DPS II Metal zu einer zuverlässigen Wahl für Reinigungs- und Ätzbedarf in der Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor