Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9274959 zu verkaufen
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ID: 9274959
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Metal etcher, 12"
EFEM (YASKAWA)
(3) G2 Metals
Axiom (VODM)
AC Rack
Side storage
(3) SMC Chillers
(2) Cathode chillers
Utility box
Tote
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal ist eine trockene Plasmaätz- und Aschemaschine, die speziell für die Verarbeitung von Halbleiterwerkstoffen entwickelt wurde, um verschiedene Bauelementstrukturen zu schaffen. Das System ist in der Lage, präzise Ätz- und Ascheergebnisse mit höchster Präzision und Genauigkeit zu erzielen. AMAT Centura DPS II Metal kann die Ätz- und Ascheprozesse sowohl für Metall- als auch für dielektrische Schichten sowie für eine Vielzahl unterschiedlicher Gerätestrukturen wie Kontaktlöcher, Gatestapel und gemusterte Diffusionsbereiche abschließen. Es verwendet einen fortgeschrittenen Ätzprozess namens Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), um das Material zu ätzen und zu verarbeiten, worauf dann ein Abscheidungsprozess folgt. Dieser fortschrittliche Ätzprozess ist in der Lage, Selektivität und hohe Ätzraten für ein breites Spektrum von Anwendungsanforderungen bereitzustellen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II Metal erreicht seine präzise und präzise Leistung durch eine Vielzahl anspruchsvoller Designmerkmale. Diese Merkmale umfassen seine fortschrittliche Plasmabearbeitungskammer, die für ein gleichmäßiges Ätzen über eine breite Palette von Substratgrößen und -strukturen ausgelegt ist. Das 10kW RF-Matching-Netzwerk ist ein einzigartiges Merkmal der Einheit, da es den Betreibern ermöglicht, den Ätzprozess auf eine Vielzahl verschiedener Substrate und Prozessbedingungen abzustimmen. Weitere fortschrittliche Merkmale der Maschine sind die fortschrittliche optische Reduktionsfähigkeit, die eine fortschrittliche Überwachung über den gesamten Ätzprozess ermöglicht, sowie die patentierte reaktive Ionenätztechnologie (RIE), die ein gleichmäßiges Ätzen über eine große Fläche ermöglicht. Die Centura DPS II umfasst auch eine Reihe von Substratbehandlungswerkzeugen, um ihre Fähigkeiten weiter zu verbessern. Diese Werkzeuge umfassen eine selbstreinigende Substratkammer, die Verunreinigungen während des Ätz- und Aschevorgangs effizient entfernt, und eine eingebaute Ionenbeschussfähigkeit, die zur Beschleunigung der Ätzrate des Prozesses verwendet werden kann. Optional ist auch eine Temperaturregeleinheit verfügbar, die es dem Bediener ermöglicht, eine Vielzahl von Materialien über einen großen Verarbeitungstemperaturbereich zu verarbeiten. Centura DPS II Metal ist ein äußerst zuverlässiges Ätz- und Aschewerkzeug mit hervorragenden Leistungsmerkmalen. Zudem ist das Asset mit seiner intuitiven grafischen Benutzeroberfläche äußerst benutzerfreundlich und ermöglicht dem Bediener ein klares Verständnis des Ätzprozesses. Mit seinen fortschrittlichen Verarbeitungsfunktionen kann AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal höchste Präzision und Genauigkeit beim Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien bieten und ist damit ein ideales Modell für die Verarbeitung und Entwicklung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen.
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