Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9275303 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly
ID: 9275303
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Poly etcher, 12" EFEM TM (3) DPS2 Axiom AC Rack 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für Nachbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es basiert auf der Centura Etcher-Plattform und verfügt über einen einzigartigen, zweistufigen Prozess, der ein schnelles Ätzen und effektives Entfernen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Das Gerät ist mit einer Doppelspin-Funktion ausgestattet, die eine zuverlässige und wiederholbare Verarbeitung mit Gleichmäßigkeit und Kontrolle ermöglicht. Auf diese Weise können alle Aspekte des Ätzens wie Selektivitätsregelung, Prozesszeit, Strahlleistung, Gasmix und Prozessgasanpassungen exakt auf den maximalen Prozessdurchsatz mit maximaler Ätzgenauigkeit und -qualität zugeschnitten werden. AMAT Centura DPS II Poly verfügt über eine Dual-Source Reactive Ion Etch (RIE) -Quelle mit zwei getrennten Quellen, die eine unabhängige Steuerung des jeweiligen Reaktordrucks, der Plasmaleistung und der HF-Frequenzregelung aufweisen. Dies gewährleistet eine präzise Steuerung der Ätztiefe und ein gleichmäßiges Ätzen. Das System umfasst auch eine integrierte Prozessüberwachung, mit der Benutzer den Ätzprozess anpassen, die Qualitätssicherung überwachen und Ergebnisse analysieren können, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II Poly verfügt auch über ein fortschrittliches Design, das eine separate Plasmaquelle und Anodenkammer, eine komplementäre Dual-Frequenz-Stromversorgung, eine präzisionsgesteuerte Waferstufe und Klemmeinheit sowie eine dynamische Gasquellenliefermaschine umfasst. Dieses Werkzeug kann einheitliche Ätzprofile und die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien, einschließlich Metalle, Keramik, Polymere und Verbundstoffe zu ätzen. Das Asset verfügt auch über integrierte automatisierte Beispielhandhabung sowie hochgradig anpassbare Prozess- und Überwachungstools, die Anwendern Flexibilität, wiederholbare Prozesse und eine verbesserte Produktivität bieten. Dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um ein hohes dt/dz-Verhältnis zu erzeugen und bietet hohe Selektivität für das Ätzen von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. Centura DPS II Poly Ätzer/Ascher ist für industrielle Produktionslinien konzipiert und robust und zuverlässig. Es ist eine perfekte Wahl für Nachbearbeitungsanwendungen und bietet einen hohen Durchsatz mit hervorragender Ätzprofilsteuerung, schnellen Aufräumzeiten und ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. Dieser Ätzer/Ascher bietet eine hervorragende Lösung für schnelles und präzises Ätzen unterschiedlichster Materialien.
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