Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9293614 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly
ID: 9293614
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Poly etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly ist ein Ätzer/Ascher, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen für Mikrotransistoren und andere integrierte Schaltungen verwendet wird. Diese Art von Geräten verwendet einen Prozess des Hinzufügens oder Entfernens von Material, um ein gewünschtes Ergebnis zu bilden. Es handelt sich um eine Art Trockenätzanlage, d.h. ein Vakuum oder Plasma wird verwendet, um Material anstelle von flüssigen Ätzmitteln zu entfernen. Das Ätzmittel kann eine metallorganische Verbindung oder ein Gas sein. Es wird hauptsächlich für die Verarbeitung von Silizium, insbesondere Phosphosilikaten, und anderen dielektrischen Materialien verwendet. AMAT Centura DPS II Poly hat ein kompaktes, flexibles Design mit mehreren Funktionen, die es gut für die hochpräzise Verarbeitung geeignet machen. Es ist mit einem großen, 4-achsigen Spannfutter und einer leistungsstarken Ätzkammer ausgestattet, die aufgrund ihres fortschrittlichen Prozessleitsystems hohe Durchsatzraten erzielen kann. Diese Technologie wurde entwickelt, um die Wiederholbarkeit der Prozesse zu erhöhen und Abfälle zu reduzieren. Die Kombination aus umfangreicher Überwachung und Kontrolle des Ätzprozesses sorgt für höchste Qualität. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS II Poly verfügt auch über einen Wafer-in-Kammer-Belastungsmechanismus, Pulsbreitenmodulation für eine präzise und konsistente Lieferung von Ätzmittel und eine enge Submikron-Ätzgenauigkeit. Darüber hinaus verfügt Centura DPS II Poly über eine mehrzonige kapazitive Kompensationseinheit, die die Substratoberfläche entzerrt und eine gleichmäßige Ätzung gewährleistet. Es verfügt auch über eine automatisierte Scanoptik-Maschine für optimale Bildgebungs- und Messtechnik-Leistung. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly bietet auch eine geschlossene Umgebung, die hilft, eine kontrollierte Ätzchemie aufrechtzuerhalten und das Risiko von Kontamination und Ausgasung zu verringern. Es verfügt auch über ein automatisiertes Sicherheitsverriegelungswerkzeug, das Sicherheitsmaßnahmen für Personal und Werkzeug bietet. Dieses Asset ist auch in der Lage, die Erstellung und Speicherung von Rezepten zu automatisieren, was den Zeitaufwand für die Einrichtung zwischen den Etch-Schritten reduziert. AMAT Centura DPS II Poly ist das ideale Werkzeug für eine Vielzahl von Ätzanwendungen, von flachen Grabenisolierungsstrukturen bis hin zu fortschrittlichen Metallisierungsschichten. Dank fortschrittlicher Ätztechnologie und Prozesssteuerung eignet es sich gut für Anwendungen, die eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit erfordern. Dieser Hochleistungs-Ätzer/Ascher eignet sich für den Einsatz in der fortschrittlichen nanoelektronischen Verarbeitung und ist somit ein wichtiger Bestandteil des Herstellungsprozesses zeitgenössischer elektronischer Komponenten.
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