Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9247622 zu verkaufen

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die höchste Prozesssteuerung und -durchsatz für Präzisionsanwendungen wie MEMS und Halbleiterbauelemente bietet. Zur Optimierung des Ätzprozesses setzt das System auf eine Mehrfrequenz-ICP-Quelle und eine erweiterte Dual-Mode-Plasma-Enhanced-Chemical-Vapor-Deposition (PECVD) -Kammer. Durch gleichbleibend hohe Ausbeuten, hohe Zuverlässigkeit und hohen Durchsatz erzielt AMAT Centura DPS Metal ausgezeichnete Ausbeuten unter einer Vielzahl von Variablen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS Metal ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, optimale Prozessergebnisse zu erzielen. Dazu gehören eine automatisierte Druck- und Temperaturregelung, eine effektive Plasmaquelle und eine Mehrstromfördereinheit. Die automatisierte Druck- und Temperaturregelung ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung, mit der Prozessparameter für bestimmte Anwendungen angepasst werden können. Darüber hinaus erhöht die effektive Plasmaquelle die Ätzgleichmäßigkeit und verbessert die Ätzselektivität. Die Mehrstrom-Fördermaschine sorgt dafür, dass die richtigen Gase und Chemikalien die Kammer in den richtigen Konzentrationen erreichen. Das Werkzeug kann auch eine breite Palette von Ätzprozessen durchführen, wie selektives Waferätzen, dielektrisches Ätzen, Post-CMP-Reinigung und fortschrittliche Photolithographie. Jeder Prozess wurde entwickelt, um die Vorteile der fortgeschrittenen Plasmaätzprozesse des Vermögenswertes zu nutzen. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, alle Arten von Materialien wie Aluminium, Kohlenstoff, Silizium und andere zu ätzen. Diese breite Palette von Prozessfähigkeit macht die Ausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, einschließlich Mikrohohlräume, MEMS und Halbleiterbauelemente. Centura DPS Metal bietet zudem eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit. Diese Gleichmäßigkeit sorgt dafür, dass alle Wafer konsistent geätzt werden, was zu gleichbleibenden Ausbeuten über die Partie führt. Darüber hinaus umfasst das System erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen wie visuelle Echtzeitüberwachung und Prozessgassteuerung. Dadurch kann der Anwender den Prozess detailliert betrachten und überwachen sowie die Kontrolle über den Prozess übernehmen. Insgesamt bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal eine außergewöhnliche Prozesskontrolle, die es Anwendern ermöglicht, unabhängig von den Umständen hochpräzise Ergebnisse zu erzielen. Durch modernes Plasmaätzen, Prozessgleichmäßigkeit und Kontrolle ermöglicht das Gerät konsistente und zuverlässige Ergebnisse und ist damit die ideale Ätzlösung für fortgeschrittene und präzise Anwendungen.