Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067 zu verkaufen
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ID: 9276067
Metal etcher, 8"
C1P1
WBLL
Orient
CD
(2) DPS R0
(2) ASP
AC Rack
Generator rack
Missing parts:
VME Board
Process kit
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metall Ätzer/Ascher ist eine hochentwickelte Ausrüstung für detaillierte, zuverlässige und präzise Mikrobearbeitung von Metallen. Dieses System kombiniert die Fähigkeit, Metalle zu ätzen und zu aschen, mit der erforderlichen Leistung, um hohe Präzision, hohe Genauigkeit und hohe Produktivität zu produzieren. Diese Einheit ist in der Lage, Metall-Features mit Abmessungen von 2um bis 20um in der Größe zu ätzen und Ascher. AMAT Centura DPS Metallmaschine nutzt eine umweltfreundliche, einseitige Verarbeitung, Inline-Plasmaquelle zum Trockenätzen und RIE-Aschen von Metalloberflächen. Bei diesem Werkzeug dient eine niederfrequente Energiequelle zur Aufrechterhaltung einer Plasmaumgebung für Ätz- oder Ascheprozesse. Dieses Verfahren kann verwendet werden, um Merkmale im Bereich von 2um bis 20um in der Größe mit positiven oder negativen Photoresist-Materialien zu schaffen. Das Metall wird auf Oxidationstemperatur erhitzt, wobei dem Substrat unter Bildung von Metalloxid Sauerstoff zugeführt wird. Anschließend wird das Metalloxid über Ätz- und Ascheprozesse, die auf jedes spezifische Produkt zugeschnitten sind, abgetragen. Die Prozessparameter wie Kammerdruck, Gaschemie, HF-Leistung und Plasmaerzeugung werden überwacht, um Konsistenz zu gewährleisten. Das Verfahren kann auf einer Vielzahl von Metallfolien, wie Kupfer, Nickel, Gold, Aluminium und mehr verwendet werden. Die Anlage umfasst eine Vielzahl von zusätzlichen Funktionen, um Prozessstabilität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Dazu gehören fortschrittliche Kontaminationskontrolltechnologien, Clean-in-Place-Systeme und ein integriertes Automatisierungsmodell. Die Geräte können auch mit zusätzlichen Peripheriesystemen, wie einer Nachreinigungsanlage und einer Laserausrichtstation, für optimale Leistung integriert werden. Das Gerät ist so konzipiert, dass es den Anforderungen der Kunden an Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle gerecht wird. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS Metallätzer/Ascher ist eine ideale Maschine für Anwendungen wie Lithographie, dünne Filme, Mikroherstellung, 3D-Druck, MEMS und mehr. Mit seiner hohen Genauigkeit, Effizienz, Wiederholbarkeit und zuverlässigen Prozessen stellt das Werkzeug sicher, dass Metallteile die hohen Anforderungen für diese Anwendungen erfüllen. AMAT hat dafür gesorgt, dass Centura DPS Metal Asset die Kundenanforderungen erfüllt und die Produktion von Hochleistungsmetallgeräten und -teilen erleichtert.
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