Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9277563
Wafergröße: 8"
Metal etcher, 8"
(2) DPS R0 Metal chambers
(2) ASP Chambers
AC Controller rack
RF Rack
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers
NESLAB 150 Chiller
(2) DTCU
Load locks: Wide body LL
Frame: Ph1
HP Robots
Orientor chambers
EDWARD IQDP Pumps
Chuck type: PI ESC
Signal tower
Hard Disk Drive (HDD)
Gas configuration:
DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4
ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal ist ein Ätzer/Ascher, eine hochmoderne Maschine zur Verarbeitung von Materialien in der Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsindustrie. Seine geringe Größe und überlegene Leistung machen es zu einer beliebten Wahl bei Chipherstellern. AMAT Centura DPS Metal ist in der Lage, präzise zu strukturieren, zu reinigen, zu trocknen und auf einer Vielzahl von Materialien zu ätzen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DPS Metall ist für hochpräzise Anwendungen konzipiert. Es verwendet eine Mehrzonenausrüstung, die eine präzise Durchflussverteilung und Temperaturregelung bietet, die ein gleichmäßiges Ätzen und Aschen über verschiedene Substrate ermöglicht. Das System wurde mit fortschrittlicher Bewegungssteuerung entwickelt, um eine konsistente und genaue Schichtbildung zu gewährleisten. Das Gerät ist außerdem mit einer kapazitiv gekoppelten RF (CCRF) -Quelle für eine verbesserte Prozesssteuerung, erhöhten Durchsatz und höhere Genauigkeit ausgestattet. Centura DPS Metal verfügt auch über erweiterte Reinigungs- und Trocknungsfunktionen. Die Maschine ist darauf ausgelegt, feste Rückstände wie Partikel, Metalle usw. mit einer Vielzahl von Reinigungslösungen wegzuspülen. Es bietet auch fortschrittliche Trocknungsmöglichkeiten, die eine schnelle und gleichmäßige Entfernung von flüssigen Rückständen ermöglichen. Dies sorgt für optimale Substratleistung und Produktqualität. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal ist mit einem automatisierten Wafer Handler ausgestattet, der das Be- und Entladen von bis zu vier Wafern unterstützt. Dieses Tool kann Verbindungen zu oberen und unteren Lasthalterungen herstellen, um einen besseren Workflow zu ermöglichen. Die Anlage soll außerdem die Verschmutzung reduzieren, indem die Erzeugung von Nebeln und Dämpfen minimiert wird. Darüber hinaus soll das Modell das Risiko einer Kontamination während der Verarbeitung durch die Verwendung von verkapselten Komponenten und korrosionsbeständigen Materialien reduzieren. AMAT Centura DPS Metal wurde entwickelt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prozessen zu niedrigen Kosten zu verbessern. Seine hohe Leistung und seine hervorragenden Eigenschaften machen es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Wahl für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor