Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #293821386 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 ist ein modernes Plasmaätz-/Ascherinstrument für präzise und kontrollierte Ätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterherstellung und in Forschungsumgebungen. Dieses Instrument ist Teil der renommierten Centura-Plattform von AMAT, einem führenden Anbieter von Ausrüstung, Dienstleistungen und Software für die globale Halbleiter-, Display- und verwandte Branchen. AMAT Centura DPS2 verfügt über fortschrittliche Technologien und innovative Designelemente, die eine leistungsstarke Verarbeitung ermöglichen und gleichzeitig außergewöhnliche Prozesswiederholbarkeit und Einheitlichkeit bieten. Mit mehreren Prozesskammern ausgestattet, bietet APPLIED MATERIALS CENTURA DPS 2 Flexibilität, verschiedene Ätz- und Ascheprozesse auf einer Vielzahl von Substraten durchzuführen, darunter Siliziumwafer, Verbundhalbleiter und fortschrittliche Materialien, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMS-Bauelementen und anderen elektronischen Bauelementen verwendet werden. Zu den Schlüsselkomponenten von CENTURA DPS 2 gehören Prozesskammern, Gasfördersysteme, HF-Stromquellen, Temperaturregelgeräte und Vakuumsysteme, die nahtlos integriert sind, um eine optimale Prozessleistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Das Kammerdesign und die Prozesssteuerungsfunktionen des Geräts ermöglichen eine präzise Steuerung von Plasmaparametern wie Gasflussraten, Druck, Leistungsdichte und Substrattemperatur, um die gewünschte Ätzselektivität, -rate und Profilsteuerung zu erreichen. AMAT/APPLIED MATERIALS Die Plasmaquellen von CENTURA DPS 2 nutzen die fortschrittliche RF-Technologie, um Plasma verschiedener Chemikalien wie fluorbasierte und sauerstoffbasierte Gase zu erzeugen, um selektiv spezifische Materialien mit hoher Selektivität und Auflösung zu ätzen oder zu aschen. Die Gasfördereinheit des Systems ist mit Massendurchflussreglern und Druckregelgeräten ausgestattet, um eine genaue Gasmischung und Strömungsregelung zu gewährleisten, die entscheidend ist, um die gewünschten Prozessergebnisse konsistent zu erzielen. Die Temperaturregler von AMAT CENTURA DPS 2 bieten präzise Substratheiz- und Kühlfunktionen, um die Prozessbedingungen für verschiedene Materialarten zu optimieren und einheitliche Ätzraten über den Wafer zu gewährleisten. Das Vakuumwerkzeug der Maschine wurde entwickelt, um die erforderlichen Prozessdruckniveaus für eine effiziente Plasmaerzeugung und Substratverarbeitung zu erreichen und aufrechtzuerhalten und gleichzeitig schnelles Kammerpumpen und Spülen für schnelle Prozesszykluszeiten zu erleichtern. Centura DPS2 verfügt über eine benutzerfreundliche Schnittstelle und eine fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, mit der Bediener Prozessparameter einrichten und überwachen, Prozessdaten in Echtzeit analysieren und Prozessrezepte für bestimmte Anwendungen optimieren können. Das Asset bietet zudem erweiterte Funktionen zur Endpunkterkennung und Kammerreinigung, um die Prozesskontrolle zu verbessern, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Wartungsintervalle des Modells zu verlängern. Abschließend ist APPLIED MATERIALS Centura DPS2 Plasmaätzer/Ascher ein hochmodernes Werkzeug für fortschrittliche Halbleiterfertigungs- und Forschungsanwendungen. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 ermöglicht mit modernsten Technologien, überlegener Prozessleistung und benutzerfreundlicher Oberfläche Halbleiterherstellern und Forschern hochpräzise, zuverlässige und wiederholbare Ätz- und Ascheprozesse, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht werden.
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