Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384036 zu verkaufen

ID: 9384036
Wafergröße: 12"
Poly etcher, 12".
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für hochproduktive Hochleistungs-Wafer-Verarbeitung. Es wurde entwickelt, um ein „Arbeitstier“ für Produktionsumgebungen zu sein, das einen schnellen Durchsatz, eine genaue Prozesskontrolle und eine hervorragende Einheitlichkeit sowie die Flexibilität ermöglicht, die konfiguriert werden muss, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Das DPS2 nutzt eine Hochdurchsatz-Pulse-Corona-Entladung (PCD) -Etch/-Asher-Ausrüstung mit ultrakurzer Pulsfunktion für mehr Prozessflexibilität. Es enthält auch einen Hochgeschwindigkeitsprofilregler, der eine breite Palette von Ätzprofilen sowie eine Standard-Lastverriegelungsfähigkeit bereitstellt, wodurch das System ideal zum Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Wafermaterialien geeignet ist. Die Einheit läuft in einem von zwei Laufmodi, wobei es sich zunächst um einen festen Ätzzeitmodus handelt, in dem die Verarbeitungszeit eingestellt ist und die gleiche Last in dieser Zeit unabhängig von der tatsächlichen Lastgröße verarbeitet wird. Der zweite Modus ist ein gesteuerter Profilmodus, bei dem die Zeit auf der Grundlage des Ätzprofils des zu bearbeitenden Wafers eingestellt wird. Anpassungen werden für verschiedene Materialien und Rezepteinstellungen vorgenommen. Der DPS2 nutzt eine fortgeschrittene rotierende Abschirmung, um eine Gleichmäßigkeit im Ätzprozess zu erreichen, wodurch die Variabilität der Ätzrate an den Kanten von Wafern und in den Würfelecken verringert wird. Dies führt zu weniger Ertragsverlust und besserer Waferqualität. Der hohe Durchsatz und die Flexibilität der Maschine machen sie zu einer perfekten Wahl für große Volumina, hohe Genauigkeit beim Ätzen und beim Aschen. Es eignet sich auch für eine Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungsprojekten, bei denen eine präzise Waferbearbeitung unerlässlich ist. Das Hochtemperaturvakuum des DPS2 macht es auch ideal für Anwendungen, die Hochtemperaturbehandlungen der Wafer beinhalten. Das DPS2 bietet eine breite Palette integrierter Diagnose- und Monitorfunktionen, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten und Erträge zu optimieren. Eine erweiterte grafische Benutzeroberfläche (GUI) macht das Tool auch extrem einfach zu steuern und zu überwachen. Auch technischer Support und Verfahrenstechnik stehen Kunden zur Verfügung. AMAT Centura DPS2 ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Wafer-Bearbeitungspferd, das sich ideal für Produktionsumgebungen eignet.
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