Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384037 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 ist ein hochpräziser Plasmaätzer/Ascher für Halbleiter- und Flachbildschirm-Anwendungen. Der Ätzer verwendet Hochspitzenleistungs-Plasmaquellen und eine patentierte dielektrische Platte, um extrem genaue Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. Die Ergebnisse sind stark wiederholbar, mit einer maximalen Variation von 5 Prozent in der Ätzrate von Wafer zu Wafer. AMAT Centura DPS2 eignet sich hervorragend für eine Vielzahl von IC- und FPD-Anwendungen, wie das Erstellen von Kanälen, Kontakten und Box-Shapes. Die präzisen und wiederholbaren Ergebnisse machen es ideal für empfindliche Strukturen. Die maximale Wafergröße für den DPS2 beträgt 200mm, und die Kammergröße kann bis zu zwölf Substrate aufnehmen. Das DPS2 bietet mehrere Funktionen, um ein genaues Ätzen und Aschen zu gewährleisten. Der Ätzer ist sowohl mit kapazitiv gekoppelten als auch mit hochfrequenzinduktiv gekoppelten Plasmaquellen ausgestattet, die einen weiten Bereich von Plasmadichten und Ätzraten ermöglichen. Die patentierte dielektrische Platte dient dazu, das Plasma von den Wänden des Ätzers abzuschirmen, wodurch ein gleichmäßiges Ätzen über den Wafer gewährleistet ist. Außerdem verhindert die einzigartige Ausbildung der Platte ein dielektrisches Sputtern, was sonst zu Verschmutzungen des Wafers führen würde. Die DPS2 sorgt auch für Temperaturregelung und Gleichmäßigkeit während des gesamten Ätzprozesses. Die Temperatur des Ätzers kann bis zu 600 ° C eingestellt werden, was eine genaue Glühung und Oxidation ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über ein kompaktes Kreislaufkühlsystem, das die Temperaturen im gesamten Ätzer gleichmäßig und im Bereich der Zieleinstellung hält. Die DPS2 bringt zusätzliche Vorteile durch eingebettete Automatisierungsfunktionen. Neben der Einstellung und Überwachung des Ätzprozesses bietet die mitgelieferte Software benutzerdefinierte, parameterbasierte Rezeptentwicklung und Echtzeit-Prozessüberwachung. Die Software ermöglicht das einfache Hinzufügen von Prozessschritten und kundenspezifischen Rezepten, was ein effizientes und präzises Ätzen ermöglicht. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Centura DPS2 ein hochpräziser Ätzer und Ascher für fortgeschrittene Halbleiter- und FPD-Anwendungen. Seine einzigartige Kombination von Eigenschaften, einschließlich zwei Plasmaquellen, dielektrische Platte, Temperaturregelung, Gleichmäßigkeit und Automatisierungsfunktionen, machen es zur idealen Ätzlösung für eine breite Palette von Geräten.