Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197 zu verkaufen
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ID: 293624197
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Oxide etcher, 12"
EFEM
TM Module
(3) DT Hart
AC Rack
Chiller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DT Hart ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher. Dieses fortschrittliche Tool verfügt über leistungsstarke Funktionen zum Ätzen und Waschen von Wafern in einem zuverlässigen, wiederholbaren und konsistenten Prozess. Es unterstützt eine breite Palette von Ätzchemie und Anwendungen, mit ausgezeichneter Temperaturregelung, Prozessgenauigkeit und niedrigen Betriebskosten. AMAT Centura DT Hart verfügt über eine industrielle 6-Zoll-Quarzätzkammer mit einem Wasserstoffperoxid- und Argongasgemisch, die eine ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit und zuverlässige Arbeitsabläufe bietet. Darüber hinaus dient ein digitaler programmierbarer Logikregler zur präzisen Steuerung der Prozessparameter inklusive Kammertemperatur und Druck. Auch ist das Werkzeug um eine effiziente, Drei-Zonen-Heizeinrichtung konzipiert, die Erwärmungszeit und Kosten im Zusammenhang mit Temperaturzyklen reduziert. Dieses System vereinfacht auch das Aschen/Ätzen, indem es eine präzise Temperaturregelung sowohl für das Ätzen als auch für das Aschen von Wafern ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura DT Hart ist ein hocheffizientes, kostengünstiges Werkzeug und eignet sich sowohl für kommerzielle als auch für F & E-Anwendungen. Es verfügt über eine leistungsstarke, automatisierte Prozesssteuerung, die in der Lage ist, hochwertige Wafer mit niedrigen Defekten zu liefern. Die Maschine gewährleistet zudem eine zuverlässige Prozesssteuerung mit wiederholbaren und konsistenten Ätzergebnissen. Darüber hinaus ist das Tool mit einem umfassenden Satz von analytischen Komponenten ausgestattet, wie Multimode-Massenspektrometrie, Festphasen-Mikroextraktion und automatisierte Partikelflussregelung, die eine genaue und präzise Messung von Ätzchemikalien, Kammerbedingungen und Waferqualität ermöglicht. Insgesamt ist Centura DT Hart ein vielseitiges Werkzeug, das effizientes und zuverlässiges Aschen und Ätzen für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Mit seiner fortschrittlichen Temperaturkontrolle und Prozessgenauigkeit ist es sowohl für F&E als auch für kommerzielle Produktionsanwendungen perfekt.
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