Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293617885 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der in Halbleiterherstellungs- und Verpackungsprozessen verwendet wird. Es ist in der Lage, Hochdurchsatz und sehr zuverlässiges Ätzen einer Reihe von Materialien. Es enthält eine Reihe integrierter Funktionen, die die Produktivität maximieren und Kosten senken sollen. Im Kern ist AMAT Centura Enabler E5 ein 300mm langer, kammerbasierter Ätzer/Ascher, der vollautomatisch mit AMAT-eigenem CMx-Steuerungssystem betrieben wird. Die Kammer kann sowohl für Naßätz- als auch für Plasmaätzprozesse verwendet werden, wodurch sie sich sowohl für eine Reihe fortgeschrittener Maßnahmen des Gerätebaus als auch für die Geräteverpackung eignet, die sowohl Nass- als auch Trockentechniken erfordert. Es ist dazu fähig, Silikon, Gallium arsenide (GaAs) und andere Materialien bis zu einer Tiefe von 250 M in einem einzelnen Pass zu ätzen. Es kann auch für eine Vielfalt anderer Anwendungen wie das Würfeln, scribing, und Stapeln des vielfachen Zurückende-Oblatenniveauchipskalaverpackens (Si WLCSP) Geräte verwendet werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura Enabler E5 unterstützt auch eine Vielzahl von Ätzchemien, einschließlich Flusssäure (HF), Ammoniumbicarbonat (NH4HCO3), Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH), Phosphorsäure (H3PO4), Schwefelsäure (2) Darüber hinaus ist das System auch in der Lage, mehrstufige Ätzrezepte mit zwei Waferspuren durchzuführen, wodurch gleichzeitig ein paralleles Ätzen mehrerer Wafer ermöglicht wird. Die Kammer enthält auch integrierte Sicherheitsmerkmale wie einen automatischen Stopp, wenn der Chlordioxid- oder Stickstoffdioxidgehalt eine vorgegebene Schwelle überschreitet. Er kann bei Temperaturen bis 150 ° C arbeiten. Darüber hinaus wurde die Kammer entworfen, um das Risiko einer Kontamination durch rückseitige Waferpartikel zu minimieren. Insgesamt ist Centura Enabler E5 ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für Hochdurchsatz und zuverlässiges Ätzen einer Vielzahl von Materialien konzipiert ist. Es ist in der Lage, bis zu einer Tiefe von 250 m in einem Durchgang und für eine Vielzahl von Ätzchemien zu ätzen. Darüber hinaus verfügt das System über eine Reihe von Funktionen zur Gewährleistung der Sicherheit, einschließlich eines automatischen Stopps, wenn die Gaswerte eine voreingestellte Schwelle überschreiten, und es ist in der Lage, bei Temperaturen bis zu 150 ° zu arbeiten.