Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ Super-E #9293833 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP + Super-E Etcher/Asher ist eine fortschrittliche, präzise Nassätzausrüstung für die Produktion von Optoelektronik und Halbleiterbauelementen mit hohem Durchsatz. Das System nutzt eine Abfolge von Prozessbedingungen, um hohe Ätzraten mit ausgezeichneter Oberflächenglätte und Selektivität zu erzielen. Zu den Merkmalen von AMAT Centura MxP + Super-E gehören ein Variable Speed Substrate Rotator, Hochtemperatur-Prozesskammern und eine Mehrzonen-Temperaturregelplattform. Automatisiertes Thermomanagement optimiert die Ätzgleichmäßigkeit und mehrere unabhängige Prozessbehälter ermöglichen mehrstufiges Ätzen. Das Gerät bietet eine präzise Temperaturregelung, eine präzise Prozesssteuerung, wiederholbare Prozessparameter und eine strenge Umweltverträglichkeit. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura MxP + Super-E verfügt über ein fortschrittliches Wafer-Futter-Design, das mit einer breiten Palette von Substraten kompatibel ist, einschließlich Si und III-V-Materialien. Das Futter kann für das Oxidätzen auf 950 ° C erwärmt werden, und die genauen Heizparameter werden für Ätzgleichmäßigkeit, höheren Durchsatz, niedrigere Ausschussraten und verbesserte Ausbeuten streng kontrolliert. Der leistungsstarke Enerjector™ HF-Generator bietet präzise Steuerbarkeit und ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung bei der Abstimmung von Ätzparametern. Centura MxP + Super-E bietet kosteneffektives Nassätzen und erfüllt anspruchsvolle Anforderungen an Ertrag, Gleichmäßigkeit und Selektivität. Es kann auch für Konfigurationen mit mehreren Modulen konfiguriert werden, um den Durchsatz zu erhöhen und mehrere Wafergrößen zu verarbeiten. Die Maschine bietet auch eine breite Palette von Chemikalien und reproduzierbaren Ätzprofilen. Es verfügt über automatisierte Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit und einen Prozessmonitor, der verwendet werden kann, um den Ätzprozess in Echtzeit zu überwachen. Dies sorgt für konsistente Ergebnisse und hilft bei der Erfüllung höchster Qualitätsstandards.