Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XT ISD #293595648 zu verkaufen

ID: 293595648
Poly etcher HTF / EPI / Poly chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der die neueste Halbleitertechnologie nutzt, um eine überlegene Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses System kombiniert Einzelwaferbelastung mit hochpräzisen Ätz- und Aschefunktionen, um fortschrittliche Prozessentwicklungs- und Produktionsprozesse zu unterstützen. AMAT Centura XT ISD verfügt über eine automatisierte Prozesssteuerungsplattform, die wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Das System verfügt außerdem über eine einheitliche Gasverteilungskonstruktion, die die Aufrechterhaltung einheitlicher Ätzraten und eine gleichmäßige Verarbeitungsorientierung unterstützt. Dies gewährleistet gleichbleibende Ätzergebnisse über eine Vielzahl von Wafern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura XT ISD verfügt zudem über eine hohe Vakuumfähigkeit, die einen Durchsatz von 150 Wafern pro Stunde erreichen kann und somit für Produktionsprozesse gut geeignet ist. Die hohe Auflösung des Centura XT ISD Plasmasensors unterstützt den Anwender dabei, seine gewünschten Ätzraten zu erreichen. Dieser Sensor ist auch in der Lage, die Ätzraten mehrerer Standorte sowohl in Läufen als auch in Prozessen zu überwachen. Darüber hinaus bietet AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD eine Echtzeit-Stromzufuhrfähigkeit und kann verwendet werden, um verbesserte Ätzergebnisse durch eine einstellbare Ätzrate zu erzielen. AMAT Centura XT ISD bietet auch Unterstützung für eine Reihe von Wafergrößen und verfügt über verschiedene Metallabhebeprozesse, die es dem Anwender ermöglichen, eine breite Palette von Ätz- und Metallabscheidungsprozessen zu erreichen. Dies hilft, eine Vielzahl fortschrittlicher Materialbearbeitungsanwendungen zu unterstützen, von einfachen Ätznivellierungen und -verpackungen bis hin zu Metallabhebungen, Bulk Substrate Removal (BSR) und Undercut/Thinning-Anwendungen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura XT ISD ist ein flexibles und effizientes Werkzeug mit geringen Wartungskosten. Seine Eigenschaften machen es in der Lage, sowohl kleine und volumige Ätz- und Aschearbeiten mit Leichtigkeit zu handhaben. Damit eignet sich Centura XT ISD bestens für alle Arten von Ätz- und Aschevorgängen, von der Forschung und Entwicklung bis zur Serienverarbeitung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor