Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #9411364 zu verkaufen

AMAT APPLIED MATERIALS Centura Chamber ist eine zweistufige Ätz-/Ascheausrüstung, die eine maximale Leistung für die Ätz- und Aschebearbeitung in Halbleiter- und MEMS-Anwendungen bietet. Dieses System wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanforderungen mit hervorragenden Ätz-/Ascheverhältnissen, langfristiger Zuverlässigkeit und hohem Durchsatz zu erfüllen. Die Kammer ist für Präzisionsätz- und Aschekontrolle, Durchsatzoptimierung und Wafer-Endeffektsteuerung ausgelegt. Der erste Teil der Einheit ist die Ätzkammer, in der Plasma erzeugt wird, um einen hohen Rate, reproduzierbaren Ätzprozess zu erreichen. Um die höchste Selektivität und Ausbeute zu erreichen, wird eine genaue Überwachung und Steuerung des Ätzprozesses über die integrierte Prozesssteuerung ermöglicht. Der Ätzprozess wird von einer unabhängigen Quelle betrieben, die eine optimale Ätzleistung für alle Prozessbedingungen bietet. Der zweite Teil der Maschine ist die Aschekammer, die einen hochpräzisen Ascheprozess mit minimalen Rückseitenschäden und minimaler Ascheverarmung ermöglicht. Der Aschecontroller bietet konsistente Leistung sowohl in manuellen als auch in automatisierten Umgebungen. Für maximale Flexibilität kann das Centura-Werkzeug mit einer Ein- oder Doppelkammerkonfiguration konfiguriert werden. Zum Zweikammer-Gut gehören die Reinätzprozesskammer und die Ascheprozesskammer. Dieses Modell ermöglicht die rückwärtige Ätz- und Ascheverarbeitung, wodurch der Waferdurchsatz erhöht wird. Diese Ausrüstung verfügt über erweiterte Funktionen wie Auto-Tune, temperaturgesteuerte Plenums, Mehrkanal-Duschkopf mit gereinigtem Trägergas und automatische Substrat-Temperaturregelung. Diese Funktionen ermöglichen eine engmaschige Prozesskontrolle und sorgen für wiederholbare und reproduzierbare Prozesse. Die Centura-Kammer ist für SEMI-S2 konforme Prozesse ausgelegt und hat eine enge Kontrolle über Kammerdruck, Temperatur, Elektronenfluss und andere Prozessfaktoren. Das System verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen und ist so konzipiert, dass es betriebs- und umweltverantwortlich ist. Eine breite Palette von Komponenten ermöglicht Flexibilität und Kompatibilität mit einer Vielzahl von konfigurierbaren Upgrades. Dazu gehören Lastverschluss- und Transfermodule, Robotik, HF-Generatoren, turbomolekulare Vakuumpumpen und Prozessgasreinigung. Die Centura-Kammer ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheeinheit, die hochpräzise, wiederholbare und reproduzierbare Ätz- und Ascheprozesse in einer einzigen Kammer oder Doppelkammer-Konfiguration ermöglicht. Diese Maschine wurde für maximale Prozessflexibilität entwickelt und ermöglicht eine engmaschige Kontrolle über Ätz- und Ascheparameter und gewährleistet eine druck-, temperatur- und driftfreie Prozesssteuerung.