Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #293821494 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532 Ätz-/Ascher-Ausrüstung ist ein Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie zum Ätzen und Aschen von dielektrischen Strukturen verwendet wird, die bei der Herstellung von ultradünnen Schichten verwendet werden. Es ist für den Einsatz in der Herstellung von ultradünnen Filmen wie Tri-Level-Dielektrika, Metalltore, Dual-Damascen-Kupfer-Metallisierung und hohe Seitenverhältnis Dual-Damascen-Prozesse konzipiert. Das System nutzt eine Reihe von Technologien, darunter flüchtige organische Verbindung (VOC) reaktives Ionenätzen (RIE), Nassätzen und ultrahochvakuumtrockenes (UHV-Dry) Ätzen, um seine einzigartigen Prozesse durchzuführen. AMAT DPS 532 ist eine fortschrittliche, variable Flussätzeinheit, die fortschrittliche Plasmaquellen enthält, die eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit und Ätzrate bieten können. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Online-Überwachungswerkzeug, das eine schnelle Anpassung und Echtzeitkontrolle des Ätzprozesses ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS 532 verwendet eine Vielzahl von Ätzgasen, einschließlich NF3, CF4, O2, SF6, CHF3, C2F6, H2 und Ar, sowie andere Gase, um eine optimale Ätzleistung zu erzielen. Zum Asset gehört auch ein fortschrittliches Fernätzmodell, das Prozesssteuerung und schnelle Rezeptentwicklung und -handhabung ermöglicht. Die in DPS 532 integrierte Hochvakuum- und überwachte Trockenätztechnologie ermöglicht es, hochauflösende Funktionen, eine verbesserte Kontrolle kritischer Abmessungen (CD), reduziertes Micropiping und hohe Seitenverhältnisse für ultradünne Filme zu erzielen. Mehrere Module können in das Modul integriert werden und ermöglichen eine Vielzahl von Prozessfähigkeiten wie Lückenfüllung, Fehlerpassivierung, kritische Musterprozesse und Metall-Gate-Ätzen. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532 Geräte sind für die Integration in bestehende Ätz- und Ascheanlagen konzipiert. Es umfasst gemeinsame programmierbare Logikcontroller (SPS) und Servosteuerungen, die eine einfache Integration in bestehende Automatisierungsprozesse ermöglichen und die Rüstzeit bei der Implementierung des Systems in eine Produktionslinie verringern. AMAT DPS 532 verwendet eine stromlose Montage, um die Wafer zu montieren, so dass das Gerät keinen zusätzlichen manuellen Eingriff erfordert als andere Systeme. Die Maschine stellt auch ein Wafer-Level-Erkennungswerkzeug zur Verfügung, um Waferschäden durch falsche Beladung oder Handhabung des Wafers zu verhindern. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS 532 Ätzer/Ascher Asset ist ein fortschrittliches Werkzeug in der Halbleiterindustrie verwendet, um ultradünne Filme mit präziser Ätzsteuerung zu schaffen. Das Modell nutzt eine Reihe von Technologien wie VOC-RIE, Nassätzen und UHV-Trockenätzen, um seine einzigartigen Prozesse zu erreichen. Es ist mit einer Überwachungseinrichtung und programmierbaren Logiksteuerungen ausgestattet, so dass es in bestehende Ätz- und Veraschungsfertigungslinien integriert werden kann. Das Hochvakuum und überwachte Trockenätzen in Verbindung mit dem Wafer-Pegel-Detektionssystem ermöglichen es, eine überlegene Ätzgleichmäßigkeit und -rate bei reduzierter Mikropiping und hohen Seitenverhältnissen mit verbesserter CD-Steuerung zu erreichen.