Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9044038 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532 ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die ein Niederdruck-Atmosphärenplasma verwendet, um chemische Schichten oder Ätzoberflächen von Halbleitern und anderen Materialien abzuscheiden. Die fertigungstechnische Auslegung und modernste Technik des Systems machen es zu einem einfach zu bedienenden und zuverlässigen Werkzeug für zahlreiche Anwendungen. AMAT DPS 532 Einheit setzt auf eine funktionsreiche, konfigurierbare, digitale Steuerung, um Ätz- und Ablagerungsrezepte durchzuführen. Interne Komponenten verwenden eine Kombination aus plasmainduzierter chemischer Dampfabscheidung (PICVD) und niederdruckkapazitiv gekoppeltem Plasma (LPCP) für Ionen und Radikale, um den Prozess zu initialisieren. Die hoch anpassbaren Rezepte und Sequenzierungsparameter ermöglichen eine große Kontrolle über Abscheidung und Ätzen. Eine Vielzahl von Gasen, einschließlich O2, Argon, H2, SiH2Cl2, CF4 und NF3, werden verwendet, um Ätz- und Abscheidungsraten und -prozesse zu verbessern. Angewandte Materialien DPS 532 ist in der Lage, einheitliche Ätzraten und Abscheidung von Metallen, Polymeren und Dielektrika in einer breiten Palette von Materialien mit Leichtigkeit zu produzieren. Seine große Prozesskammer (10,2 "Durchmesser) sorgt für Gleichmäßigkeit über weite Bereiche. Darüber hinaus ist die Maschine mit fortschrittlichen Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines Hochgeschwindigkeitspyrometers zur Messung der Ätzraten. Diese Kontrollen und Leistungsmaßnahmen sorgen für einheitliche Ergebnisse und Gleichmäßigkeit auf der Platte. Darüber hinaus ist der LPCP-Ätzprozess in DPS 532 hochkompatibel mit hochdichten geätzten Funktionen. Das Tool nutzt auch eine Reihe von Online-Datenerfassungstools und -analysen, um die Ätz- und Ablagerungsraten in Echtzeit zu überwachen und so Teilekonsistenz und Qualitätskontrolle zu gewährleisten. Die Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Flexibilität von AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532 machen es perfekt für Produktions- und Entwicklungsanforderungen. Die Anlage wird mit einem 480V, 3-phasigen Netzteil betrieben und hat einen Betriebstemperaturbereich von 10-40 ° C. Zusammenfassend ist AMAT DPS 532 ein extrem zuverlässiges Ätz-/Aschermodell, das fortschrittliche PICVD-, LPPP- und HF-Mantelionisierungstechniken für präzise und zuverlässige Leistung kombiniert. Seine große Arbeitskammer, gepaart mit Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen, machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug zum schnellen und konsistenten Ätzen und Abscheiden von Materialien.