Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #293764820 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 ist ein hochzuverlässiger Ascher/Ätzer, der für die Hochdurchsatzverarbeitung über eine breite Palette von Geräten in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist für große Reinigungs-, Ätz-, Asche- und Abscheideprozesse auf Waferebene konzipiert, mit der Fähigkeit, verschiedene Funktionen und Technologien in einer einzigen Plattform mit hoher Geschwindigkeit zu integrieren. AMAT DPS G5 bietet höhere Zuverlässigkeit und verbesserte Leistung gegenüber vorhergehenden Systemen. Dieses System bietet einen beeindruckenden Durchsatz von bis zu 60 Wafer-Fertigungsvorgängen pro Stunde. Die Fortschritte dieser Einheit ermöglichen eine höhere Effizienz bei der Herstellung einer Vielzahl von Wafergeräten wie IMD, MEMS und Touch Panel. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS G5 verwendet sowohl fortschrittliche Chemien als auch modernste Technologien, um eine maximale Ätz- und Ascheleistung zu erreichen. Die Maschine ist mit einem High-End 5,000W HF-Generator ausgestattet, der für die gewünschten Chemien optimiert ist und somit eine Erfolgsquote von bis zu 99,9% gewährleistet. Das Werkzeug ist auch in der Lage, die HF-Leistung automatisch an die Reaktionszeit des in den zu behandelnden Substraten verwendeten chemischen Prozesses anzupassen. Darüber hinaus verwendet DPS G5 ein fortschrittliches PFA (Pressure Flow Analysis) -Subsystem, das in der Lage ist, während des Ätz- und Ascheprozesses automatisch die gewünschte Temperatur, den Druck und die gewünschte Strömung aufrechtzuerhalten. Diese Anlage ist mit einem Multi-Vakuum/Gas-Verteiler ausgelegt, der in der Lage ist, den Prozess durch eine genaue Steuerung der Durchflussraten zu optimieren und so einen erfolgreichen Herstellungsprozess der Wafereinrichtung zu gewährleisten. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 ist auch mit einem einzigartigen Prozesssteuerungsmodell ausgestattet, das chemische und Substrateigenschaften überwachen, speichern und analysieren kann. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die höchste Prozesskontrolle über alle Stufen des Herstellungsprozesses hinweg aufrechterhalten wird, während Anwender auch auf detaillierte Prozessberichte für eine verbesserte Analyse, Verfeinerung und Herstellung zugreifen können. AMAT DPS G5 ist die ideale Wahl für zuverlässige und effiziente Ätz- und Ascheprozesse auf Waferebene in der Halbleiterindustrie. Es bietet einen höheren Durchsatz, verbesserte Prozesskontrolle, modernste Technologien und ausgefeilte Chemie, um maximale Zuverlässigkeit und Effizienz bei der Herstellung zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor