Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #9375195 zu verkaufen

ID: 9375195
Poly etcher, 12" AC Remote power rack CHX Chiller EDWARDS IXM 1800 Dry pump Chambers: (3) DPS (A, B, C) AXION (D) FI (EFEM): UPS MKS Macronode Keyboard Video Mouse (KVM) Ethernet switch hub Fast Data Gateway (FDG) Short flex controller assy Light curtain Load port RFID Aligner Robot controller Ionizer controller Light tower Intake plenum enclosure MF: Type: AP TM Robot TM Robot controller TM Robot blade Integrated point of use pump (I-PUP) TM Baratron gauge TM Vacuum gauge Load lock vacuum gauge Load lock indexer controller TM Diffuser Load lock vent valve Load lock heater controller Load lock door Auto Pressure Controller (APC) Slit valve GME Chamber port Assy Lid Bulk gas delivery Modular DNET IO Controllers (MDI) Process chamber: Chamber Control Module (CCM) Source coil Source ceramic lid Source lid heater Upper liner Lower liner Cathode liner Flow equalizer Slit liner door Cathode assy ESC RF Filter box AC Distribution box Temperature controller Throttling gate valve Eyed OES Spectrograph Electrostatic Chuck (ESC) HE Controller Ion gauge Pumpstack Chamber lift assy TGN Gas delivery Vacuum gauge Vacuum switch Pump Foreline ISO Valve RF Match box and generator Strip chamber: Chamber Control Module (CCM) Pedestal assy Throttling gate valve Foreline ISO Valve AC Distribution box Temperature controller Vacuum gauge Vacuum switch Remote plasma source Gas panel: Type: NEXTGEN (16) Sticks Gas weldment type: Single line drop Mass Flow Controller (MFC) Flow Ratio Controller (FRC).
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 ist ein Deep Reactive Ion Etch (DRIE) und Asher Gerät mit einer umfangreichen Liste von Funktionen und Funktionen. Es funktioniert, indem es Ionen verwendet, um ein Material, in der Regel einen Halbleiter, zu ätzen oder zu aschen, um gewünschte Muster zu erstellen. Es besteht aus mehreren Komponenten, wie einer Quellkammer und einer Druckkammer, um seine Spezialfunktionen zu unterstützen. Die Quellkammer umfasst ein Dampfeinspritzsystem sowie eine modulare, abnehmbare Verteilerausführung. Diese Kammer wird zur zuverlässigen Materialätzung unter Vakuumbedingungen gehalten. Tests haben ihre Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit bewiesen. Die Druckkammer beherbergt die Prozessgase. Hier erfolgt der Großteil der Ätzung und wird exakt auf einem geforderten Druck gehalten. Die Kammer ist auch mit einer Sicherheitsdruckverriegelungseinheit, einer Ferndrucküberwachung und einer Druckregelung ausgestattet. AMAT DPS G5 ist benutzerfreundlich und wurde für die Wiederholbarkeit der Ergebnisse entwickelt. Es ist mit zwei 50 MHz HF-Generatoren ausgestattet, um das Prozessgas zu ionisieren, um das Material zu ätzen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Hochspannungs-DC-Bias-Technol- ogy sowie ein Plasmaoxidationswerkzeug, um sicherzustellen, dass die Ätzraten konsistent sind. Die Bandbreite der Materialien, die das Asset ätzen kann, ist ziemlich umfangreich, darunter Silizium, Siliziumnitrid und andere Halbleiter. Das Modell ist in der Lage, ein kontrolliertes Ätzprofil zu produzieren, auch auf weicheren Materialien wie Gold. Die Plasmaätz- und Aschevorgänge verlaufen sowohl recht schnell als auch in relativ kurzer Zeit. Die eingebaute Temperaturregelung und Sicherheitsfunktion sowie die einstellbaren Parameter und die Prozesszeit machen die Ausrüstung leicht an eine Vielzahl von Projekten und Anwendungen anpassbar. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS DPS G5 ein ausgezeichneter Ätzer und Ascher, um viele verschiedene Projekte anzugehen. Mit seinen zuverlässigen Komponenten, der einfachen Benutzeroberfläche und den einstellbaren Funktionen sorgt es dafür, dass Projekte mit Genauigkeit und Präzision durchgeführt werden. Das System hat sich in vielen Branchen bewährt, und seine breite Palette an Materialien und Fähigkeiten machen es zu einer unschlagbaren Option.
Es liegen noch keine Bewertungen vor