Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9379752 zu verkaufen
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AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE ist ein Hochleistungs-, Gleichstromplasma etcher / asher entworfen für die genaue Eliminierung und Reinigung von layered Materialien in der Oblatenskalaherstellung von halbleiter-basierten Produkten. AMAT DPS II AE nutzt seine innovative Gleichstrom-Plasma-Technologie, um ultraschnelles Ätzen von Schichten bis in den Nanometermaßstab mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS II AE verfügt über eine voll ausgestattete Benutzeroberfläche und eine Reihe leistungsstarker Softwarefunktionen zur Steuerung des Ätzprozesses, einschließlich Rezeptverfolgung, automatische Parameterabstimmung, Echtzeit-Prozessüberwachung und Steuerung von Gasströmen und Elektrodenströmen. DPS II AE kann bei Temperaturen bis 200 ° C und mit Ätzraten von 200 µm/min bis 10 nm/min geätzt werden. Neben seiner erweiterten Ätzfähigkeit ist AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE auch mit einer integrierten After-Etch (ASH) -Kammer zur Reinigung der geätzten Schicht ausgestattet, die eine schnelle Entfernung organischer Rückstände ohne Partikelverunreinigung ermöglicht. Die ASH-Kammer ist so ausgelegt, dass sie alle Rückstände der Waferoberfläche zuverlässig abkratzt, bevor sie erhebliche Schäden verursachen kann. Um eine gleichbleibend genaue Ätzung zu gewährleisten, ist AMAT DPS II AE mit mehreren Sensor- und Steuerungssystemen ausgestattet. Dazu gehören ein eingebauter Gasstromregler, eine gesteuerte Differenzdruckkammer, ein Manometer, ein Temperatursensor und ein HF-Plasmagenerator. Diese Kombination aus Sensoren und Reglern ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und liefert konstant konsistente Ergebnisse bei minimaler Variation. In Bezug auf die Sicherheit ist APPLIED MATERIALS DPS II AE CE-zertifiziert und erfüllt oder übertrifft alle geltenden Anforderungen an die Ätz-/Aschensicherheit. Sein Innenraum ist effektiv von der äußeren Umgebung abgedichtet, während redundante Stromquellen und Energieverwaltungsfunktionen vorhanden sind, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt ist DPS II AE ein unglaublich leistungsfähiger und vielseitiger Ätzer/Ascher, ideal für die Herstellung von Halbleitern. Die Gleichstrom-Plasmatechnologie bietet ein schnelles, wiederholbares und genaues Ätzen sowie eine hohe Kontrolle des Ätzprozesses. Es ist auch CE-zertifiziert für maximale Sicherheit und ist mit allen Funktionen ausgestattet, die für eine sichere und effiziente Herstellung von Wafern im Maßstab erforderlich sind.
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