Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9078107 zu verkaufen

ID: 9078107
POLY chamber's, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die für hochpräzise und komplexe Ätz- und Ascheoperationen entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, verschiedene geätzte Materialien zu handhaben, darunter dünne Filme, Wafer und andere Substrate. Es kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, wie das Ätzen von strukturierten Schichten auf Halbleiterbauelementen, mikrofluidische Studien und MEMS-Bauelementen. Das Gerät ist mit einer Mehrprozesskammer, mehreren Quellmodulen und mehreren In-situ-Sensorprozessen ausgestattet. Die Mehrprozesskammer ermöglicht anpassbare Prozesse und ermöglicht es Anwendern, auf unterschiedliche Ätz- und Metallabscheidungserfordernisse einzugehen. Die Quellmodule umfassen ein Indiumphosphid-Naßätzfutter, eine E-Strahlquelle und eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle. Alle diese Quellen sind in der Lage, hochgleichmäßige Filme und Photoresists herzustellen. Die In-situ-Sensorprozesse liefern Feedback zu Prozessparametern, um qualitativ hochwertige Prozessergebnisse zu gewährleisten. Die Funktionen der Maschine ermöglichen auch umfassende Ätzvorgänge. Es verfügt über einen präzisen und wiederholbaren magnetfeldunterstützten Ätzprozess sowie erweiterte Profilierungsfunktionen für Foliendicke. Darüber hinaus ermöglicht die intuitive Benutzeroberfläche des Tools die Überwachung und Steuerung von Betriebsparametern und Prozessen in Echtzeit. Darüber hinaus verfügt AMAT DPS II über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Lichtbogenschutz und programmierbare Verriegelungstüren für Gefahrstoffe. All diese Elemente machen es zu einem zuverlässigen und sicheren Ätz-/Aschemodell, das für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS DPS II eine leistungsstarke und zuverlässige Ätz-/Ascheausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Es ist mit mehreren Werkzeugen und Funktionen ausgestattet, die Präzisionsätz- und Ascheoperationen einfach und zuverlässig machen. Es verfügt über eine Mehrprozesskammer und mehrere Quellmodule, so dass Benutzer ihre Ätz- und Metallabscheidungsanforderungen erfüllen können. Darüber hinaus verfügt es auch über eine umfassende Reihe von Sicherheitsfunktionen, so dass es für jede Reinraumumgebung geeignet ist.
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