Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9103057 zu verkaufen
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ID: 9103057
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Metal etcher, 12"
(3) Chambers
(2) Axiom chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Asher ist eine fortschrittliche Plasmaätz- und Reinigungsanlage für F&E und Produktionsanwendungen. Es kombiniert Hochleistungs-Trockenätzfähigkeiten, ausgezeichnete Partikelentfernung, Niedrigtemperaturreinigung und schnelle Rampen-Down-Zeiten. Das System bietet überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Ätzprozessoptimierung. AMAT DPS II Asher verfügt über eine Vakuumkammer mit einem Heizelement für Warm-, Niederdruckreinigungs- oder Ätz- und Ätzprozesse. Es enthält auch einen rotierenden Tisch, um das Produkt zum Ätzen auf die Transferstufen legen zu können. Ein fortgeschrittener Prozesscontroller überwacht die Prozessparameter, während eine LCD-Benutzeroberfläche Bedienern hilft, sich durch die Prozedur zu manövrieren. Der Plasmaätzprozess wird von einem Hochfrequenzgenerator angesteuert, der eine HF-Plasmaquelle zur Erzeugung und Steuerung des Plasmafeldes verwendet. Eine integrierte Emissionseinheit dient dann zur Steuerung des Plasmas aus der Ätzkammer und zur Bereitstellung und Aufrechterhaltung von Kammerbedingungen. Die Kammer verfügt außerdem über ein hochauflösendes digitales Multimeter und einen digitalen Thruster, um eine genaue Ätzprozesssteuerung zu gewährleisten. Die Prozesssteuerung ist mit Echtzeit-Feedback-Daten ausgestattet, um eine genaue und präzise Ätzung zu gewährleisten. Es kann an einen externen PC zur Fernsteuerung des Prozesses angeschlossen werden. Die Maschine verfügt auch über ein geschlossenes Temperaturregelwerkzeug, das in Ätzprozesstemperatur einrastet und eine Hochleistungs-Temperaturregeleinrichtung, um sicherzustellen, dass die Temperatur der Asche immer gehalten wird. Zusätzlich kann der Ätzprozess mit einer Vielzahl von Diagnostika wie optischer Emissionsspektroskopie, Massenspektroskopie und anderen Prozessparametern überwacht werden. Das Modell ist in der Lage, Partikel von der Ätzoberfläche zu reinigen und die Partikelverschmutzung zu reduzieren. Es ermöglicht auch einen einfachen Zugang zur Vakuumkammer für schnelle Wartung und Reparatur. Die wichtigsten Vorteile von APPLIED MATERIALS DPS II Asher sind hohe Wiederholbarkeit, Wert und Leistung für Ätz-, Reinigungs- und andere Anwendungen. Es bietet überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit, minimierte Partikelverschmutzung, schnelle Rampenzeiten und ausgezeichnete Sauberkeit der Ätzoberfläche. Die Ausrüstung ist auch einfach zu bedienen, effizient und kostengünstig.
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