Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9192386 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II ist ein von AMAT, Inc. Die vielseitige Ausstattung ist in der Lage, in vielen Halbleiterprozessen eine Vielzahl von Wafer- und Keramikmaterialien zu ätzen und/oder zu aschen. AMAT DPS II 's Advanced Multi-ZoneTM Technology and Fusion™ Gas Delivery System ermöglicht die Vorkonditionierung und Prozesskontrolle für produkt- und anwendungsspezifische Anforderungen. Diese Fähigkeit optimiert die Leistung und Steuerung von Ätzen und Aschen auf Gate-to-Gate-Ebene. ANGEWANDTE MATERIALIEN Die Ätz- und Ascheprozesse von DPS II basieren auf einer kontrollierten Sauerstoff- oder Stickstoffplasmachemie. Diese Prozesse können auf Druck, Strom und Plasma zugeschnitten und eingestellt werden. Mit DPS II kann das Verfahren so abgestimmt werden, dass es in seinem optimalen Bereich sowohl für das Ätzen als auch für das Aschen arbeitet. Darüber hinaus sind Kammer und Elektrodenanordnung so ausgelegt, dass sie eine ausgezeichnete Strömungsverteilung erzeugen, die zu gleichmäßigen Ätztiefen über den Wafer führt. Ein weiteres wichtiges Merkmal von AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II ist die hocheffiziente Gasfördereinheit. Es ist mit einer neuen zweistufigen Filtrationsmaschine entwickelt, um eine hohe Gasreinheit zu gewährleisten. Dies verbessert die Reinigungsqualität jedes Prozesses, ohne die Prozesszeit zu erhöhen. Es ermöglicht auch höhere Prozesstemperaturen bei reduzierter Elektrodenverschmutzung und verbesserter elektrischer Isolation. Dies wiederum ermöglicht eine höhere Gleichmäßigkeit über den Wafer. AMAT DPS II enthält auch eine automatische ReaktorenTM-Funktion, um Defektivität und Nacharbeit zu reduzieren. Es verbessert die Abstimmung des Prozesses durch die automatische Anpassung an den richtigen Satz von Ätzparametern und entfällt die Notwendigkeit, die Kammerbedingungen manuell anzupassen. Diese Funktion bietet die Möglichkeit, schnell und effizient auf unterschiedliche Prozessbedingungen umzuschalten. APPLIED MATERIALS DPS II enthält auch ein umfassendes User Interface-Tool, mit dem Benutzer den Ätz- und/oder Ascheprozess in Echtzeit überwachen, verfolgen und steuern können. Es bietet auch eine Reihe von automatischen Prozesssteuerungsfunktionen für verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Insgesamt ist DPS II ein Ätzer/Ascher, der exzellente Wiederholbarkeit, Präzision und Kontrolle von Ätz- und Ascheprozessen bietet. Es umfasst eine Multi-ZoneTM Technologie und Fusion™ Gas Delivery Asset, um den Prozess an anwendungsspezifische Anforderungen vorzukonditionieren. Es bietet auch ein hocheffizientes Gasliefermodell, eine automatische ReaktorenTM-Funktion und eine umfassende Benutzeroberfläche für die Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung.