Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255367 zu verkaufen
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ID: 9255367
Wafergröße: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 400
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 300
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 300
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II ist ein induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) Ätzgerät. Es ist ein High-End, großflächiges, induktiv gekoppeltes Etch (ICE) -System, mit Merkmalen wie Einbehälter-Chargenätzen, hoher Prozessgleichförmigkeit und hohem Durchsatz. AMAT DPS II ist eine Top-of-the-Line-Ätzeinheit mit vier Durchflusskammern, die in die Maschine integriert sind. Diese Kammern sind entworfen, um eine Vielzahl von Materialien, einschließlich organischer dielektrischer und Metallfolien, sowie Hardmasken-, Epitaxie- und Wafer-Widerstandsschichten zu ätzen. Das Werkzeug kann in einem Ein- oder Mehrkammermodus mit bis zu vier Schichten gleichzeitig geätzt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS II verfügt auch über fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie, mit einer integrierten Datenbank, die auf Rezepten von Kunden und OEMs basiert. Dies ermöglicht dem Asset eine gute Ätzgleichmäßigkeit, einen hohen Durchsatz und genau definierte Prozessparameter. DPS II hat eine breite Palette von Ätzchemien, von CF4-based ‘hard mask’ Ätz- und XeF2-based Resist-Etch bis hin zu Kohlenstoffätzen auf Mikrowellenbasis. Die chemische Fähigkeit und Flexibilität dieses Modells ermöglicht es Anwendern, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, von Silizium bis GaAs und darüber hinaus. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II verfügt auch über eine fortschrittliche Spannungsquelle Intelligent Power Supply, die einstellbare Leistung, Frequenz und Kompensationsfähigkeit bietet, um präzise, wiederholbare Ätzungen zu ermöglichen. Die Geräte können mit einer Vielzahl von Prozesssimulationssoftware-Tools integriert werden, die ein präzises virtuelles Modell des Ätzprozesses liefern und die Prozessoptimierung unterstützen. AMAT DPS II hat sich als wichtiges Werkzeug bei der Herstellung mikroelektronischer und optoelektronischer Bauelemente bewährt. Seine Flexibilität, benutzerfreundliche Schnittstelle und hohe Prozessfähigkeit machen es zu einem geschätzten Teil des komplexen Prozesses, der bei der Herstellung leistungsfähiger, zuverlässiger Komponenten für Halbleiter- und optoelektronische Anwendungen erforderlich ist.
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