Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9379759 zu verkaufen

ID: 9379759
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Poly etcher, 12" 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II ist ein fortschrittliches, hochmodernes Ätz-/Ascherwerkzeug. Mit fortschrittlicher Plasmatechnologie ist die Ausrüstung sowohl für das hochpräzise Ätzen als auch für das Aschen verschiedener Materialien, von Metallen bis zu Halbleitern, ausgelegt. Neben dem effizienten Ätzen/Aschen unterschiedlichster Materialien bietet AMAT DPS II eine überlegene Prozesssteuerung mit präziser Parametereinstellung für optimale Ätzung oder Asche. Auf diese Weise können Anwender eine hohe Prozesswiederholbarkeit erzielen, wobei Strukturen mit hohem Seitenverhältnis unter Beibehaltung einer besseren als erwarteten Oberflächenqualität erreicht werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN DPS II ist mit hoher Ausgangsleistung, ausgezeichneter Langzeitprozessstabilität sowie hohem Waferdurchsatz entwickelt, so dass Benutzer die höchste Waferoberflächenausbeute erzielen können. Sein benutzerfreundliches und benutzerfreundliches Design hilft den Betreibern, die Produktivität zu maximieren. DPS II enthält eine Hochdruck-, Niederdruck- und Entlüftungsdruckkammer. Die Hochdruckkammer ist für Hochgeschwindigkeitsätzen und zuverlässiges reproduzierbares Ätzen mit niedriger Sputterrückstreuung auf die Waferkante ausgelegt. Die Niederdruckkammer dient als Vorreinigungskammer vor dem Ätzen und als Ascher mit zweizonigem Verfahren zur überlegenen Gleichmäßigkeit. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II verfügt auch über ein eingebautes Temperaturregelsystem, das die Prozesstemperatur stabilisiert und somit die Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit von Ätzen/Aschen verbessert. Darüber hinaus verfügt die Einheit auch über einen statischen Neutralisator, um die Ansammlung von positiven Ionen auf der Oberfläche des Wafers beim Ätzen oder Aschen zu verhindern, sowie eine geerdete Wand, um die potentielle elektrische Aufladung weiter zu reduzieren. AMAT DPS II hat sich als zuverlässiges Werkzeug bei der Herstellung von Hochleistungsschaltungen erwiesen und kann auch für fortgeschrittene MEMS (micro-electro-mechanical machine) Anwendungen eingesetzt werden. Sein robustes Design und seine benutzerfreundliche Oberfläche ermöglichen es Anwendern, bei minimalem Eingriff des Bedieners eine überlegene Ätz- und Ascheleistung zu erzielen. Das Tool ist zuverlässig, wiederholbar und äußerst benutzerfreundlich. Es liefert hochpräzise Ätz- und Ascheergebnisse auch bei anspruchsvollen Materialien und ist damit ein ideales Werkzeug für die Geräteherstellung.
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