Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly ist ein Ätzer/Ascher, der hauptsächlich in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es besteht aus einem beheizten Polyethylen-Transportbehälter, der Wafer in einer CVD-Kammer liefert. Diese Kammer ist mit einem Vorwärmer, einem HF-Generator, Substraten und einer Matchspule sowie weiteren Komponenten ausgestattet. AMAT DPS Poly verfügt über mehrere Prozesse innerhalb einer einzigen Kammer, die es ermöglichen, überlegene Ätz- und Abscheidungsprozessergebnisse zu liefern. Dieses Gerät verfügt über die Dual-Head, Reactive Ion Etching (RIE) Technologie sowie ein chemisch-mechanisch polierendes (CMP) Verfahren zur Verbesserung von Halbleiteroberflächen. Die beiden getrennten Kopfkonstruktionen innerhalb des Systems ermöglichen das Ätzen von Metall und dielektrischen Schichten gleichzeitig. Die Einheit umfasst auch eine programmierbare Steuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, verschiedene Ätzprofilschritte sowie die Temperatur und den Druck der Kammer zu programmieren. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätz- und Abscheideprozesses durch Einstellung von Temperatur, Druck und HF-Leistung. Der HF-Generator erzeugt sowohl einen stationären als auch gepulsten HF während Plasmaätzvorgängen. Die durch die Programmsteuerung einstellbare Matchspule dient zur Steuerung der Wegstrecke zur Streckenimpedanzvariabilität bei Plasmaätzvorgängen. Um den Durchsatz von APPLIED MATERIALS DPS Poly zu erhöhen, implementierte AMAT den „Substrate Cascade Loader“. Auf diese Weise können zwei Substrate einen beliebigen Prozess gleichzeitig durchlaufen. Dieses Verfahren ist bekannt, um die Gesamtverarbeitungszeit drastisch zu reduzieren. Auch die von APPLIED MATERIALS für DPS Poly entwickelte Software ist einfach zu bedienen. Es verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Sie schnell Rezepte für jeden Ätz- oder Ablagerungsprozess eingeben können. Diese Software bietet auch Echtzeit-Überwachung der Kammertemperatur, Druck und HF-Leistung. Abschließend machen die Eigenschaften von AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly Ätzer/Ascher eine gute Wahl für alle, die nach einer multifunktionalen Maschine suchen, die sowohl Abscheide- als auch Ätzprozesse verarbeiten kann. Es bietet robuste Funktionen wie den Substratkaskadenlader, Dual Head RIE und den programmierbaren Controller sowie einfach zu bedienende Software. Diese Eigenschaften haben AMAT DPS Poly zu einer der am weitesten verbreiteten Maschinen in der Halbleiterindustrie gemacht.